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BE-AC20系列半導(dǎo)體晶圓腐蝕清洗系統(tǒng)

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品       牌

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

半導(dǎo)體晶圓腐蝕清洗系統(tǒng)采用半導(dǎo)體工藝要求的材料和工藝流程，可設(shè)計(jì)腐蝕槽清洗槽等工藝組合通討PLC加觸摸屏組合設(shè)計(jì)控制，可對(duì)硅晶圓實(shí)現(xiàn)需要的硅腐蝕HF處理沖水超聲吹干等工藝過程。

詳細(xì)介紹

1、產(chǎn)品概述

      半導(dǎo)體晶圓腐蝕清洗系統(tǒng)采用半導(dǎo)體工藝要求的材料和工藝流程，可設(shè)計(jì)腐蝕槽清洗槽等工藝組合，

通討PLC加觸摸屏組合設(shè)計(jì)控制，可對(duì)硅晶圓實(shí)現(xiàn)需要的硅腐蝕HF處理沖水超聲吹干等工藝過程。

2、性能參數(shù)

                  • 裝片能力: 5時(shí)，6時(shí)，8時(shí)，150-300微米

                  • 清洗能力: 2cassette/Batch，25Pcs/cassette

                  • 主要材質(zhì): 聚丙烯磁白PP:阻燃聚氬乙烯PVC: SUS304不銹鋼，透明抗靜電PVC5T

                  • 防漏盤: 聚丙烯磁白 PP 板材

                  • 排風(fēng)通道: 內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板:控制方式:PLC+觸摸屏控制

                  • 工藝溫度: 30~80℃（可調(diào)）

                  • 溫控精度: +0.5℃

                  • 工藝槽數(shù): 2-5個(gè)可選

                  • 工藝配方: 預(yù)先設(shè)置自動(dòng)執(zhí)行

                  • 廢液回收: 機(jī)臺(tái)后方專用管道

                  • 設(shè)備維護(hù): 狀態(tài)監(jiān)測(cè)手動(dòng)點(diǎn)檢

                  • 工作環(huán)境: 千級(jí)凈化車間

3、相關(guān)服務(wù)

支持客戶定制服務(wù)，提供顧客標(biāo)準(zhǔn)化工藝。





關(guān)鍵詞：PLC PP PVC
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