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中科艾爾（北京）科技有限公司


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DV系列隔膜閥

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更新時間：2024-05-15 18:04:56瀏覽次數：84次

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產品簡介

工作壓力:真空至300psig(低壓) 真空至3000psig(高壓) ｜ 材質:316L/316L(VIM+VAR) | 工作溫度:-10℃~60℃(低壓) -10℃~40℃(高壓)

詳細介紹

產品介紹 

 

DV系列隔膜閥，膜片式硬密封結構，超低泄漏率；適用于超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足超大規模集成電路的工藝氣體要求。

 

主要部件材料 

 

閥體              316L /316L（VIM+VAR） 

膜片           Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022

密封墊        PCTFE

手柄           6063

  

工作條件

 

工作壓力              真空至 300psig, 真空至 3000psig 

爆破壓力             低壓 3000psig, 高壓 9000psig

流量系數            1/4" 為 0.25 , 1/2" 為 0.35，1/2"HF 為 0.7

工作溫度            低壓 -10 ～ 60℃ , 高壓 -10 ～ 40℃ 

內漏率               ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

外漏率               ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

內表面粗糙度     Ra ≤ 0.1μm

 

產品特點 

 

適合超高純度氣體應用

高低壓兩種閥型

Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022 材料膜片

每臺閥門進行單獨的氦質譜檢測

 

關鍵詞：隔膜閥 PC PCT
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