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MarSurfXC20技術特征：PCV200驅動器具有200mm(7.87in)的測量長度及50mm(1.97in)的行程,與MarSurfXC2比較提供更多的功能包括:測量段：顯示的測量段無數量限制,每個測量段在記錄中都彼此獨立
MarSurf XC 20技術特征：PCV 200 驅動器具有200 mm (7.87in) 的測量長度及50 mm(1.97 in) 的行程, 與 MarSurf XC 2 比較提供更多的功能
包括:
測量段：顯示的測量段無數量限制, 每個測量段在記錄中都彼此獨立。
使用雙測頭：進行測量利用雙測頭可以對反向輪廓進行測量, 例如既要求測量孔內也要求測量外部參數的情況。在 XC 20 軟件中, 兩個相對輪廓都可以按標準進行評定, 及對兩個輪廓相關的參數進行計算。
技術數據
驅動單元 PCV 200 / LD 120
掃瞄長度 (X方向) 0.2 mm 至 200 mm (0.0079 in 至 7.87 in)
測量范圍 (Z方向) 50 mm (1.97 in) , 適用于350 mm (13.78 in) 測臂
25 mm (0.98 in) , 適用于 175 mm (6.89 in) 測臂
測量系統 (X方向) 高精度光柵測量系統(出廠經激光干涉儀校準)
測量系統 (Z方向) 電感傳感器*, 高精度, 高線性度
測針分辨率( Z方向) 0.38 μm (15 μin), 適用于350 mm (13.78 in) 測臂
0.19 μm (7.5 μin), 適用于175 mm (6.89 in) 測臂測
測點距離 (X方向) 1.0 μm 至 8.0 μm (40 μin 至 315 μin)
測量系統分辨率( Z方向) 0.04 μm (1.6 μin)
行程偏差 < 1 μm (40 μin) (在120 mm (4.72 in)全行程內)
測力 (Z方向) 1 mN 至 120 mN, 向下和向上
(可在 MarSurf XC 20 設定)
行程升角 在光滑表面, 取決于表面傾斜程度:
向下降低時不超過 88°, 向上上升時不超過77°
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