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UV光解等離子除臭凈化設備放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子
UV光解等離子除臭凈化設備放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。 UV光束裂解惡臭氣體中的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，讓廢氣生成二氧化碳和水, 達到脫臭及殺滅的目的。
合利用 高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。 UV光束裂解惡臭氣體中的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，讓廢氣生成二氧化碳和水, 達到脫臭及殺滅的目的。
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