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美國ALICATPC/PCR壓力控制器

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班奈自動化儀表（上海）有限公司

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產品簡介

美國ALICATPC/PCR壓力控制器

詳細介紹

表壓 (相對于大氣壓): 0-2 inH2O(G) 至 0-500 psig (PC)或0-300 psig (PCR), 負壓: -15 – 0 psig。*PCS/PCRS最小滿量程: 0-1 psig
絕壓 (相對于真空): 0-15 psia 至 0-500 psia (PC)或0-300 psia (PCR)。*PCS/PCRS最小滿量程: 0-30 psia.
差壓 (相對壓力): 0-2 inH2O(D) 至 0-150 psid (PC/PCR)。*PCS/PCRS滿量程范圍: 0-1 psid 至 0-100 psid, 負壓代表反向壓差
標準通訊方式: RS-232數字通訊和0-5v模擬通訊
選配模擬通訊: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模擬輸出信號可選
配通訊協議: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS
通訊接口: 8針mini-DIN
選配通訊接口: 9針或15針D-sub接口, 可定制引腳分配
動態顯示設定值、表壓、絕壓或差壓
標準顯示屏: 2.1″ 單色LCD數字式觸摸顯示屏
選配顯示屏: 2.1″ 背光彩色TFT數字式觸摸顯示屏
有條件的終身質保
對撞擊、潮濕環境、安裝方向等不敏感
壓力控制器 (電源需另行訂購)
NIST可溯源校準證書
艾里卡特操作手冊
壓力控制器用于真空鍍膜

結合您用得最順手的真空計與艾里卡特PC-EXTSEN壓力控制器，可打造的絕壓控制方案用于真空沉積。質量流量控制器控制進入腔體的反應氣體流量、PC-EXTSEN壓力控制器穩定整個腔體壓力。