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北京玉研精密儀器有限公司
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它是一種過濾器，將特定波長的EUV光（極紫外，極紫外）與可見光和不必要的EUV光分開。
由于它是一款自立式EUV濾光片，因此具有出色的透光率和平整度。 另外，還有一個帶有抗氧化膜的過濾器。 由于耐氧化性優(yōu)異，因此與通常的過濾器相比，透過率的劣化小。
· 將高次諧波從基波中分離出來；
· 去除不需要的波長，如同步輻射，等離子體X射線等；
· 預(yù)防等離子體X射線中的碎片；
· 真空窗，差壓窗口
· 可以對應(yīng)于每個極紫外線和軟X射線波長區(qū)域。
· 近波長13.5nm（Zr過濾器）
· 近波長29.6nm（鋁過濾器）
· 近波長61.5 nm（Sn濾光片）
· 它可以在各種支撐薄膜和支撐上形成；
· 聚合物膜支撐過濾器；
· 網(wǎng)格支撐濾器；
· SiN膜支撐濾器；
聚合物膜支撐過濾器 網(wǎng)格支撐過濾器 膜支撐過濾器
各種材料透射率的計(jì)算值（膜厚度：100nm）：
我們還設(shè)有層壓膜過濾器，硬X射線過濾器等產(chǎn)品。
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