ZYY-ZD系列氣浮式主動(dòng)減振，針對掃描電鏡、透射電鏡、掃描隧道顯微鏡等超精密設(shè)備而研發(fā),采用型氣浮減振器進(jìn)行基礎(chǔ)隔振，即使在安裝現(xiàn)場環(huán)境有不規(guī)律的沖擊振動(dòng)時(shí)，也能確保持續(xù)的振動(dòng)穩(wěn)定性,甄耀言科技自研的主動(dòng)減振系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)6自由度主動(dòng)減振。前饋控制技術(shù)與反饋控制相結(jié)合，在低頻范圍提供出色的隔振效果，可選電控自動(dòng)調(diào)平系統(tǒng)或機(jī)械調(diào)平系統(tǒng)，自動(dòng)調(diào)整水平，一鍵啟動(dòng)減振。