激光準(zhǔn)直儀.激光準(zhǔn)直度測量儀詳細(xì)內(nèi)容激光準(zhǔn)直器使用位置傳感探測器同時(shí)測量位置和角位移精確準(zhǔn)直測量的解決方案整個(gè)系統(tǒng)包括一個(gè)即插即用卡(ISA/PCI/PCMCIA),由兩個(gè)側(cè)向效應(yīng)PSD組件構(gòu)成的測量探頭來校準(zhǔn)光束分束器