真空等離子清洗機(jī)由真空發(fā)生系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、真空腔休、機(jī)械等幾個(gè)部分組成，可以根據(jù)客戶的特殊要求定制符合客戶需要的真空系統(tǒng)，真空室。儀器廣泛應(yīng)用于表面去油及清洗等離子刻蝕，聚四氟（PTFE