除了可以兼容平面光刻法中已有的大面積掩模曝光掩模加工技術(shù)外，還可以采用聚焦光束直接寫入加工方式。這種激光打標機的加工方式摒棄了常規(guī)工藝中的掩模，將高度聚焦的激光束按加工軌跡和結(jié)構(gòu)要求在基片上進行動態(tài)移