ERS AC3 TS010 Chiller不制冷情況 維修
半導(dǎo)體專用溫控裝置(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù),并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制,顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。
AC3系統(tǒng)的核心是ACP空氣管理系統(tǒng)技術(shù)。在兩端式的冷卻操作中,提取冷卻的空氣。使用過的干燥的靜靜冷空氣還可以作為節(jié)約成本的凈化空氣,重新吹向卡盤,以防止晶圓和其周圍區(qū)域結(jié)冰。
ERS AC3 TS010 Chiller不制冷情況 維修
應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和測試領(lǐng)域,包括晶圓測試、芯片封裝等環(huán)節(jié)。在晶圓測試中,該系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)對晶圓溫度的精確控制,從而提高測試的準(zhǔn)確性和可靠性。在芯片封裝中,ERS Electronic AC3能夠應(yīng)對晶圓和PCB板的翹曲問題,確保封裝的穩(wěn)定性和質(zhì)量。
zonglen chiller
溫度范圍:-20°C~+90°C
控溫精度:±0.1℃
觸摸屏操作,人機(jī)交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能
溫度波動小