通過高頻感應加熱產生大約1萬度的熱等離子體,經過物理/化學反應過程,能合成納米顆粒及厚膜(鍍膜)。
原理?特征
在大氣壓或者接近大氣壓的低氣壓環境下,將高頻電源集中于局部,通過電磁感應使各種氣體在瞬間變成1萬度左右的超高溫等離子體。
熱等離子體屬于電弧放電,往等離子體中充入原料(粉末、氣體或液體),經過蒸發、熔融、分解、化學反應等,能進行納米顆粒的合成、微細粉末的球化及反應、鍍膜、有害氣體的分解等。
與直流(DC)電弧放電相比能獲得大容積的等離子體。
氣體流速比直流(DC)等離子體相比要慢10倍,原料可以被充分地加熱、反應。
由于沒有電極,也就沒有電極材料的污染,整個過程非常純凈。
具有氧化性、還原性、腐蝕性的各種氣體都可以使用。
超出了機械粉粹的能力,能將顆粒微細化到納米級。
由于能夠利用等離子體中的原子、離子、激發態分子和自由基等高能量化學物種的反應,有望用來合成新物質、新材料。
儀器概要
高頻振蕩器
對高頻感應等離子體負載具備的匹配電路及控制性能,能充分地應對異常放電,電源效率業界。
產品系列(額定輸出功率):6kW型,35kW型,100kW型,200kW型
*300kW型也已經生產
等離子體炬
每個高頻振蕩器配有專用的等離子體炬。
能產生體高密度等離子的體炬直徑及結構
兩層冷卻水管結構,內管使用陶瓷管,與石英管相比耐久性高
※ (已取得)、在低壓~大氣壓狀態下能長時間穩定地運行。
目前還在開發將直流 (DC) 和高頻 (RF)結合的混合式等離子體炬,混合式具有以下特征:
將直流等離子體射流疊加在高頻等離子體的上方,這樣就會對高頻等離子體有輔助作用。
制作納米顆粒時,由于原料能用直流等離子體預熱,可以進行高效率地蒸發(微細化)。
系統
能根據用途和目的提供納米顆粒合成裝置、鍍膜裝置、試驗用裝置等。
*可以提供熱等離子體發生器(成套設備)