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JBX-8100FS 圓形電子束光刻系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱廣州文明機電有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地廣州市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2024/12/16 7:29:57
  • 訪問次數3
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廣州文明機電有限公司,簡稱GZ CVL(GZ Civil Mechatronic)成立于2006年,是業內的企業,由留學歸國的北京大學博士后和華南師范大學MBA班學生共同創辦,擁有數十項,為廣東省科技型中小企業,屬國家與專精特新培育企業。十幾年來,我們一直專注的領域包括科學儀器、汽車測試儀器、非標自動化設備、測試測量與控制、嵌入式開發工具和軟件工程?!癎Z CVL”始終堅持品牌化經營戰略,以服務為基礎,以質量求生存,以管理求發展,秉承一切以客戶為中心的服務理念。憑借多年來客戶的信任和支持,“GZ CVL”積累了豐富的營銷及安裝經驗,是一家擁有的管理,的技術、高水平的營銷和完善的售后服務為一體化的專業化測試及分析儀器設備公司。工業推動中國,創新感動世界,GZ CVL以“創、建百年企業”為奮斗目標,積極促進“中國制造”向“中國創造”的轉變。公司以“科技開創未來”為宗旨,以專業技術為核心,以優質產品為先導,為我國測試及分析技術發展做貢獻,努力實現中國工業騰飛。 廣州文明依靠國內外測試和分析儀器設備領域多家國際化大公司以及中山大學、華南理工大學的雄厚技術實力,代理專業測試分析儀器設備,開展相關技術培訓,自主研發配套軟硬件,并提供的系統解決方案。公司具有持續的自主創新能力和科研成果轉讓或者產業化的實力,核心產品包含:新能源汽車測試臺架,空燃比分析儀,尾氣分析儀,掃描電鏡,熱分析儀,光譜分析儀,質譜分析儀等。"GZ CVL" 和 "希為爾"為廣州文明機電有限公司所擁有的兩個注冊商標。本公司是日本HORIBA,日本Lineeye,美國Applus, 美國Innovate,美國midtronics,瑞典Kvaser,英國PICO,日本電子捷歐路(JEOL),德國林賽斯、韓國K LAB等公司的中國代理和經銷商。GZ Civil Mechatronic Co. Ltd.(), founded on 2006.It is a well-known enterprise in the industry, focus on test and analytical instruments R & D, manufacture and sales. Our company is committed to carry out the relevant technical training, independent research and development of automotive and industrial automation system, and provide the most effective system solutions. Our core products include: Automotive teaching training equipment, engine power test system, automobile oscilloscope, exhaust gas analyzer etc. 所獲榮譽:一、廣州市科技型中小企業技術創新基金二、“LM-2空燃比測試儀”榮獲“全國20佳維修工具”獎三、汽車示波器 3423-kit榮獲“全國20佳維修工具”獎四、“立富L總線分析儀”榮獲“全國20佳維修工具”特別獎五、廣東省“優秀信用企業”六、阿里巴巴誠信通會員七、慧聰網買賣通會員八、具有外貿進出口權九、是增值稅一般納稅人十、自有商標品牌十一、廣東省科技型中小企業
高精密JBX-8100FS圓形電子束光刻系統,通過的設計優化,實現更簡便的操作,更快的刻寫速度,更小的占地面積和安裝空間,并且更加綠色節能。
JBX-8100FS 圓形電子束光刻系統 產品信息

高精密JBX-8100FS圓形電子束光刻系統,通過的設計優化,實現更簡便的操作,更快的刻寫速度,更小的占地面積和安裝空間,并且更加綠色節能。


◇ 節省空間

標準的設備占地面積為4.9m(W)×3.7m(D)×2.6m(H),比以往機型占用空間更小,外形更加緊湊美觀。

◇ 低功耗

正常工作時的功耗約為3kVA,僅需以往機型耗電量的1/3。

◇ 高產能

具備高分辨率和高速兩種刻寫模式,非常適用于超微細加工以及批量生產。該設備減少了刻寫過程中的無謂耗時,并將掃描頻率提升至業界最水準的125MHz (以往機型的1.25~2.5倍),使其具備更高的生產能力。

◇ 機型

JBX-8100FS系列設有G1(基本版)和G2(全配版)兩種機型。G1機型裝機后也可進行升級,使其支持更高的應用需求。

◇ 新功能

安裝光學顯微鏡(選配)后,在避免光刻膠感光的的同時可對材料上的圖形進行確認。設備還配備了信號塔(標配),實現了視覺范圍內的系統運行狀況監控。

◇ 激光定位分辨率

采用分辨率為0.6nm的激光干涉儀,對樣品臺位置進行高精度的量測控制。

◇ 系統控制

配備了Linux®系統,圖形用戶界面使操作更加簡單,便于初學者使用。數據準備程序支持Linux®和Windows®


備注:
Linux® 為Linus Torval在日本及其它國家的注冊商標或商標。
Windows為美國微軟公司在美國及其它國家的注冊商標或商標。

主要技術指標

機型

G1 (基本版)

G2 (全配版)

描畫方式

圓形束斑, 矢量掃描, 步進重復移動方式

加速電壓

100kV

100kV/50kV

電流

5×10-12 ~ 2×10-7A

寫場尺寸

1,000μm×1,000μm

2,000μm×2,000μm 

掃描頻率

125MHz

樣品臺移動范圍

190mm×170mm

套刻精度

≦±9nm

場拼接精度

≦±9nm

正常工作時的功耗

3kVA

樣品尺寸

200mmΦ的晶圓片, 6英寸的掩模版及任意尺寸的的微小樣品。

材料傳送

(1張)自動裝載系統

(12張)自動裝載系統

主要選配件

光學顯微鏡
  
25kV加速電壓
  
數據準備程序的追加

關鍵詞:光學顯微鏡
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