自動雙軸劃片機(jī)系列,79XX Duo 系列下三款機(jī)型7900,7920,7930。
7900用于8寸硅晶圓以及砷化鎵晶圓切割應(yīng)用;7920用于多基板、玻璃、saw device切割應(yīng)用;7930用于多塊大基板以及高效UPH需求的切割應(yīng)用。
特征和優(yōu)勢
? 方盤種類可選擇 8″×8″、10″×10″、12″×10″
? X軸采用氣懸浮導(dǎo)軌模式,保障運(yùn)動平滑,提高超高的切割質(zhì)量
? 高自動化、高清光學(xué)系統(tǒng)
? 可應(yīng)對多片產(chǎn)品切割
? 可定制化應(yīng)用