產品特點:
PLC工控機控制整個清洗過程,全自動進行。
7寸彩色觸摸屏互動操作界面,實時工作參數狀態直觀顯示。
手動、自動兩種工作模式。
數字流量計控制,控制更準確。標配雙路氣體輸送系統,可選多氣路氣體輸送系統,氣體分配均勻。可輸入氧氣、氬氣、氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。
處理高效均勻,效率高,工藝重復性好。
合理的結構設計,設備占用空間小。
可處理各種材質、形狀、尺寸樣品。
樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。
使用成本低、耗損小。
產品性能穩定,安裝與維護簡便方便。
安全保護,倉門打開,自動關閉電源。
技術參數:
型號 | CPC-35 |
艙體尺寸 | W320xH320xD350mm |
艙體容積 | 35L |
有效尺寸 | W300xD315mm |
電極分布 | 3-4層 |
射頻電源 | 13.56Mhz, 0-300W |
匹配器 | 自動匹配器 |
電 流 | 1.2A |
時間設定 | 1-99分59秒 |
氣體穩定時間 | 1分鐘 |
真空度 | 100pa以內 |
激發方式 | 電容式 |
控制系統 | 7寸PLC觸摸屏控制 |
工藝氣體 | 2氣路 MFC(可選裝3路) |
真空泵 | 抽速約16m3/h |
電 源 | AC220V 50-60Hz |