離子束拋光離子束拋光機(jī)IFS1000-600B技術(shù)參數(shù)離子束拋光
名稱(chēng) | 參數(shù) |
加工能力 | 大腔1000mm×600mm 小腔300mm×300mm |
X軸行程 | ≥1000mm |
Y軸行程 | ≥600mm |
Z1軸行程 | ≥300mm |
Z2軸行程 | ≥300mm |
離子源 | 美國(guó)Veeco HC 5cm / 德國(guó)射頻源 |
工作真空建立時(shí)間 | ≤1 hours |
副室真空建立時(shí)間 | ≤15 min |
X軸運(yùn)動(dòng)速度 | 5m/min |
Y軸運(yùn)動(dòng)速度 | 5m/min |
Z軸運(yùn)動(dòng)速度 | 3m/min |
運(yùn)動(dòng)軸重復(fù)定位精度 | ≤±0.01mm |
保護(hù)功能 | 具備意外斷電、斷水、斷氣故障報(bào)警保護(hù)、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)故障保護(hù)、離子源故障保護(hù)等 |
智能功能 | 具備智能一鍵開(kāi)機(jī)、一鍵停機(jī)、定時(shí)預(yù)約加工、遠(yuǎn)程控制、日志等功能。 |
外形尺寸 | 長(zhǎng)寬高:3.8×3.2×2.6m |
整機(jī)重量 | 9噸 |
能耗功率 | Max:18KW Avg:7KW |
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