主要規(guī)格
観察方法
光切斷方式(利用狹縫光學(xué)系統(tǒng)測定深度高度)
■物鏡
固定倍率10倍(5倍、20倍)
軸駆動(dòng)方式
基于點(diǎn)光的AF連續(xù)追蹤方式(離線時(shí)可手動(dòng)測量)
投射縫隙
10um半反光鏡型
Z軸測量
Z軸數(shù)字線性儀表0.1閱讀
重復(fù)精度
~1微米以內(nèi)
使用光源
半導(dǎo)體激光器(類2)、鹵素光源
自動(dòng)捕捉表示截面形狀的細(xì)狹縫光、紅色激光斑點(diǎn)、階梯差的變化,Z
軸功能迅速跟隨,進(jìn)行測定數(shù)值的數(shù)字顯示(自動(dòng)聚焦)·系統(tǒng))功能
與電子線方式的基準(zhǔn)線相結(jié)合,擴(kuò)大了測量范圍,提高了利用價(jià)值,是
新型的深度高度測量機(jī)。