等離子廢氣凈化器又稱等離子廢氣處理設備，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有其相似的地方。
等離子廢氣凈化器工作原理：
低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的技術，這就是等離子廢氣處理設備的工作原理。
設備反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1)電場+電子→電子；
(2)電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團；
(3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱；
(4)活性基團+活性基團→生成物+熱；
等離子廢氣凈化器的特點：
1、等離子廢氣凈化器采用了特別的吸附-分解-碳化離心式抽風安裝工藝技術設計，采用標準模塊設計等優點，是一種干法處理有用廢氣的凈化設備。
2、等離子廢氣凈化器改變了使用活性碳材料的工藝技術，無需循環處理原料，無需專人負責，不產生二次污染，替換及維護保養方便。
3、等離子廢氣凈化器還具備了顯著的生物效應。發生的靜電作用在各種 物質、病毒等微生物表面產生的電能剪切力大于細胞膜表面張力，使細胞膜遭到破壞，導致微生物死亡。因此等離子廢氣處理設備除味技術具有具體以實際為主凈化之功效。
等離子廢氣凈化器適用范圍：
隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有用廢氣也日漸增多，設備可以運用在噴漆車間，油墨印刷，噴涂車間，化工，橡膠，食品，印染，造紙，釀造等生產過程中產生的性能穩定廢氣、臭氣。