汽化過氧化氫（VHP）滅菌器，是利用過氧化氫在常溫下氣體狀態更具殺孢子能力的優點，經生成游離的-OH，用于進攻細胞成分，包括脂類、蛋白質和DNA，達到滅菌的要求的一種技術。常用于隔離室、隔離器等密閉空間的滅菌。

汽化過氧化氫滅菌，是利用過氧化氫在常溫下氣體狀態比液體狀態更具殺孢子能力的優點，將液體H2O2汽化并快速生成為游離的氫氧基（HO--），用于進攻細胞成分，包括脂類、蛋白質和DNA組織，破壞其結構，達到滅菌的要求。
汽化過氧化氫滅菌器是將濃度為35%的H2O2溶液，即雙氧水通過汽化器汽化成過氧化氫蒸汽，然后通過等離子器將粒子變為氣體HO-，并通過管道輸送到空間進行消毒滅菌的設備。

等離子汽化過氧化氫滅菌器的生物除污過程可分為四個階段：

1.汽化階段：將輸入到汽化器中汽化成過氧化氫蒸汽，并通過風機輸入到混合艙，等待處理；

2.等離子發生階段：將蒸汽狀態的過氧化氫引入至等離子發生艙中，將蒸汽過氧化氫轉化為等離子過氧化氫，并送入至滅菌艙中；

3.生物除污保持階段：繼續向滅菌艙輸入過氧化氫等離子體，直至達到預設的濃度（一般以生物試紙驗證濃度值為準）開始計時，在預設的濃度之上保持30~35min，生物除污完成（經驗證30min滅菌效率達到6-log），停止過氧化氫汽化和等離子化；

4.處殘留階段：氣路系統切換到處殘留裝置，汽化等離子體的過氧化氫通過分解器轉化為水和氧氣，不斷循環將空氣中的過氧化氫濃度降到1ppm以下。

每個階段的操作可通過手動單獨控制，也可以自動控制，按照順序逐一運行。