單晶硅壓力變送器具有0.075%超高測(cè)量精度,100:1寬量程比,穩(wěn)定性高、響應(yīng)速度快、可靠性高,自帶HART通訊功能方便手操器調(diào)試,具有本質(zhì)安全型、隔爆型、選配多種隔離膜片結(jié)構(gòu),多種過程連接標(biāo)準(zhǔn),適用微壓、絕壓、負(fù)壓、高溫高壓、低溫和腐蝕條件的壓力測(cè)量。
一、單晶硅壓力變送器工作原理
利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí),單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測(cè)壓力成比例的變化,再由橋式電路獲得相應(yīng)的電壓輸出信號(hào)。
二、單晶硅壓力變送器技術(shù)參數(shù)
測(cè)量范圍
相對(duì)壓力:0~400Pa~35MPa
J.D壓力:0~1.75KPa~35MPa
信號(hào)輸出
4-20mA +HART通訊協(xié)議(兩線制)
測(cè)量精度
綜合誤差:0.1%(包括線性度、重復(fù)性、遲滯),特殊要求可定0.075%
長(zhǎng)期穩(wěn)定性
每年優(yōu)于0.15%F.S
五年優(yōu)于0.2%F.S
溫度范圍
允許介質(zhì)溫度:(-40~120)℃
允許環(huán)境溫度:(-40~85)℃
允許儲(chǔ)存溫度:(-40~85)℃
溫度影響
相對(duì)于25℃:≤±0.4%標(biāo)準(zhǔn)量程
阻尼時(shí)間
0~40S連續(xù)可調(diào)
抗震動(dòng):2g 1000HZ ±0.05%g
抗沖擊:50g 11mesc
電磁兼容特性:符合IEC801標(biāo)準(zhǔn)
傳感器允許過壓:標(biāo)準(zhǔn)量程3倍壓力
零點(diǎn)z.ui小報(bào)警電流范圍:3.8mA
滿度z.ui大報(bào)警電流范圍:21mA
啟動(dòng)時(shí)間:3S 無需預(yù)熱
與介質(zhì)接觸部分材料
過程連接件:不銹鋼316, 哈氏合金C
傳感器膜片:不銹鋼316, 哈氏合金C
與介質(zhì)非接觸部分材料
外殼:壓鑄鋁帶環(huán)氧樹脂涂層
傳感器充灌液:硅油 厭氧油
現(xiàn)場(chǎng)顯示:液晶3 1/2精度數(shù)字式顯示器 液晶模擬條狀顯示器
防護(hù)等級(jí):IP66
重量:約1Kg
防爆等級(jí)防爆型 Ex d ⅡC T5 ,本安型 Ex ia ⅡC T5
允許環(huán)境濕度:99%RH