隨著電子產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域在不斷的擴(kuò)大,半導(dǎo)體涉及的行業(yè)也越來(lái)越廣泛,半導(dǎo)體工業(yè)不僅對(duì)于純水的要求高,在產(chǎn)品制作的過程中將會(huì)產(chǎn)生大量的工業(yè)污水,因生產(chǎn)產(chǎn)品的原材料不同,所以產(chǎn)生的廢水的廢水性質(zhì)也不同。
廢水處理難點(diǎn):
1、半導(dǎo)體廢水處理污染物種類多,成分復(fù)雜;
2、含有多種重金屬、氟、硅以及有機(jī)廢水等;
3、含有高濃度的極細(xì)懸浮顆粒;
4、工業(yè)的污水排放量大;
5、廢水濃度低,水質(zhì)變化大;
6、廢水中含金屬離子種類較多,需分開收集進(jìn)行處理;
工藝流程:
含氟廢水:半導(dǎo)體含氰清洗水的處理一般采用兩級(jí)堿性氧化法處理工藝,半導(dǎo)體廢水處理設(shè)備設(shè)有機(jī)械攪拌系統(tǒng)、PH控制系統(tǒng)、ORP控制系統(tǒng)以及加藥(酸、堿、氧化劑)系統(tǒng),將廢水pH值調(diào)節(jié)在10.5-11之間,ORP值300- -4oo mv,進(jìn)行一級(jí)氧化破氰,反應(yīng)時(shí)間為15 ~ 20min。
當(dāng)進(jìn)行二級(jí)氧化破氰時(shí),廢水的pH值調(diào)節(jié)在pH在10.5-11之間,ORP值300- -4oo mv,反應(yīng)時(shí)間15 ~ 20min,將CN-氧化就為CN0-。
有機(jī)廢水一般采用經(jīng)濟(jì)高效的生化法,如單獨(dú)的好氧法或與缺氧法、厭氧法組合工藝,對(duì)于廢水中COD、氨氮、總氮等常規(guī)污染物去除效果非常可觀。.
金屬離子廢水則需針對(duì)不同廢水不同種類進(jìn)行選擇,常用的有化學(xué)沉淀法、吸附法、離子交換法等。