適用于大多數樣品，包括薄片、粉末、碎片、透明與非透明樣品，無需對樣品進行噴碳或噴金處理
可通過不同大小的光孔對礦物或試樣進行微區分析（小至50~100μm）
可通過對束斑大小的調節，得到礦物未知成分的平均值
電子束激發X射線熒光強度高，強度要大于X射線激發源的激發強度約4-5個數量級，測試時間短
電子束入射樣品深度很淺（僅僅為1-2μm左右），實現表面分析。
除激發的特征X射線被探測以外，沒有其他的噪聲信號被探測，分析結果準確
探測器可探測的元素范圍為11(Na)～92(U)
對Na, Mg, Al, Si, P, S, Cl, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn等主量元素的分析結果譜線重復性好。
全自動分析內建診斷功能，操作簡便。
