激光三角反射式測量原理基于簡單的幾何關系。激光二極管發出的激光束被照射到被測物體表面。反射回來的光線通過一組透鏡，投射到感光元件矩陣上，感光元件可以是CCD/CMOS或者是PSD元件。反射光線的強度取決于被測物體的表面特性。為此，模擬元件PSD的敏感度需要進行調節。而對數字元件CCD傳感器，使用德國米銥公司提供的實時表面補光技術(RTSC, Real Time Surface Compensation) 可以瞬時改變接收光強。
 
傳感器探頭到被測物體的距離可以由三角計算法則得到。采用這種方法能夠得到微米級的分辨率。根據不同型號，測量得到的數據會由外置或內置控制器通過多種接口進行評估。

點激光傳感器投射到被測物體上形成一個可見光斑，通過這個光斑可以非常簡便的安裝調試探頭，因此點激光傳感器被應用到非常多的領域，成為精密距離測量的熱門選擇。根據不同設計，光學測量原理zui大允許測量距離達到1m。根據測量任務的需要，可以選擇非常小的量程，但是具有*測量精度。或者選擇大量程，但是測量精度會有所下降。目前市面上有很多傳感器型號可以快速補償反射光的光強，但只有德國米銥公司的激光傳感器成功實現了實時光強補償。

快速表面補光技術 Rapid surface compensation
直接使用激光傳感器測量，需要采樣若干測量點。而這些測量點所處表面反射特性如果發生變化，就需要對反射光的光強進行調節，以達到zui大的信號穩定性。
 
而調節的速度取決于傳感器制造商。如果傳感器需要越多時間來調節光強，就意味著越多測量值在被測表面顏色發生變化時，不可用于判斷測量結果。德國米銥公司提供的實時表面補光技術（RTSC）可以實現好的補光效果。此外，測量要確保激光傳感器的測量范圍內不存在異物干擾。灰塵或者其他小顆粒進入光路，會明顯影響測量結果。另外，被測物體所處位置或移動方向對于傳感器探頭安裝的影響不可低估。根據上述測量理論，反射光必須能夠直達感光原件。如果反射光被陰影遮擋，則測量不可完成。因此，傳感器安裝位置必須與被測物體運動方向十字交叉。
 
雖然近些年激光傳感器的尺寸日趨小型化，但與電磁類位移傳感器相比，激光傳感器的尺寸仍然偏大。

采用激光三角反射式測量方法的好處：
• 較小的測量光斑
• 允許較大安裝距離
• 較大的量程
• 幾乎可以測量任何被測物體材料
應用限制：
• 被測表面的性能對測量精度有一定影響
• 需要光路保持清潔
• 與光譜共焦式傳感器，電容式或電渦流式傳感器相比，激光傳感器尺寸偏大
• 測量鏡面被測物體，需要調試安裝位置和角度