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儲片盒內晶圓的自動搬運系統

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具體成交價以合同協議為準

產品型號SSY-10010

品       牌

廠商性質其他

所  在  地北京市

塑料機械網采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2024-12-19 17:18:15瀏覽次數：11次

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經營模式：其他

商鋪產品：25條

所在地區：北京北京市

聯系人：王先生

產品簡介

半導體工廠生產線

詳細介紹

特點

    可安全準確的搬運儲片盒的的薄片。

  • 儲片盒和片盒間晶圓的無損傷自動搬運
  • 可選裝針對減薄晶圓的伯努利手指
  • 自動識別儲片盒內晶圓和墊紙（層間紙）
  • 可自動識別儲片盒內晶圓的當前高度
  • 可滿足客戶對多個片盒及不同尺寸晶圓傳輸的需求
  • 搭載儲片盒自動開蓋機構（已申請）
  • 可對應Achilles Corporation公司生產的儲片盒
  • 配備2套高效過濾裝置(HEPA規格),確保設備內部潔凈度
  • 配備顏色視覺傳感器,能夠分辨不同顏色的墊片(片間墊紙)

應用設備實例

半導體工廠生產線

規格
可對應片盒的種類 200 mm 儲片盒, 200 mm 片盒
被搬運物 200 mm 硅晶圓, 200 mm 儲片盒內墊片(片間墊片)
潔凈度 ISO標準 Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
外形尺寸 1100 (寬) x 980 (深) x 1805 (高)
廠務 電源：AC200V±10%  潔凈氣源：0.5 MPa 250 NL/min 以上
重量 600 kg

*我司可以針對客戶對晶圓尺寸，儲片盒數量，是否需要校準器等不同需求提供定制設計。
  可對應多家廠商規格的儲片盒。有關產品規格及產品相關詳細信息請咨詢我司銷售人員。

關鍵詞：PA 傳感器

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