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行業(yè)產(chǎn)品

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北京銳潔機器人科技有限公司


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系統(tǒng)140片/h

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號SORTER SYSTEM

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

塑料機械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-12-19 17:16:54瀏覽次數(shù)：11次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：25條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：王先生

產(chǎn)品簡介

系統(tǒng)140片/h

詳細介紹

特點

    適用多種設(shè)備，通用性好，可根據(jù)客戶要求進行定制設(shè)計，系統(tǒng)內(nèi)部使用了本公司設(shè)計生產(chǎn)的高性能大氣機械手臂和校準器

  • 配備水平多軸機械手臂（GCR4310-500-AM）可以在沒有機械手臂本體水平移動軸的條件下，同時滿足4個6寸晶圓盒的晶圓傳輸
  • 500 mm的Z軸行程可適應(yīng)上下2層片盒的布局
  • 配備手指翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的機械手臂適應(yīng)于在不接觸晶圓工藝表面條件下的反裝晶圓的傳輸
  • 機械手臂腕部可以安裝晶圓Mapping Sensor，用于片盒內(nèi)各層晶圓的有無檢測
  • 出于安全面的考慮，設(shè)備維護門上安裝有門開關(guān)傳感器，保證機械手臂動作過程中的人員安全
  • 可以選裝能夠檢測玻璃（透明被搬運物）的校準器（SAL3361GR）
  • 可以根據(jù)客戶端設(shè)備需求，任意修改對接模塊的設(shè)計（HOST通訊方式需要另行商議）
  • 另外，根據(jù)客戶需求，可定制不同規(guī)格要求的產(chǎn)品

應(yīng)用設(shè)備實例

PE-CVD設(shè)備

規(guī)格
被搬運物 150 mm 晶圓（玻璃, 藍寶石, GaAs）
處理量 140片/h（不包括裝備的處理時間）
動作范圍 到達距離
（被搬運物體中心）		 旋轉(zhuǎn)角度（θ軸） 升降軸（Z軸） 翻轉(zhuǎn)軸
672mm 335度 500 mm 180度
搬運速度
（平均速度）		 機械臂 旋轉(zhuǎn)角度（θ軸） 升降軸（Z軸）
550 mm/秒 300度/秒 300 mm/秒
搬運速度
（速度）		 機械臂 旋轉(zhuǎn)角度（θ軸） 升降軸（Z軸）
900 mm/秒 400度/秒 450 mm/秒
不配備翻轉(zhuǎn)裝置
真空吸引搬運		 機械臂 旋轉(zhuǎn)角度（θ軸） 升降軸（Z軸）
1800 mm/秒 540度/秒 500 mm/秒
反復偏差值 ±0.1 mm以內(nèi)
位置精度 中心定位 ±0.2mm以內(nèi) 切邊定位 ±0.2度以內(nèi)
位置確定所需時間 槽口檢測 3秒以內(nèi) (不實行從新夾持動作)
位置補正范圍 半徑4mm以內(nèi)
<系統(tǒng)>
晶圓保持方式 真空吸引
清凈度 ISO標準 Class 2（驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下）
占用空間 640 mm×835 mm (不包括觸摸屏)
質(zhì)量 大約350 kg
廠務(wù) 電源：單相交流200V±10% 15A
真空：-53 kPa以上

關(guān)鍵詞：機械手 傳感器

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