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行業(yè)產(chǎn)品

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蘇州德龍激光股份有限公司


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晶圓激光開槽設(shè)備(low-k)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

塑料機(jī)械網(wǎng)采購部電話:0571-88918531QQ:2568841715

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更新時(shí)間:2024-11-25 17:13:28瀏覽次數(shù):24次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:29條

所在地區(qū):江蘇蘇州市

產(chǎn)品簡介

AS-5380利用高質(zhì)量光束在晶圓切割道內(nèi)進(jìn)行表面刻線,劃槽加工

詳細(xì)介紹

AS-5380利用高質(zhì)量光束在晶圓切割道內(nèi)進(jìn)行表面刻線,劃槽加工





設(shè)備優(yōu)勢:

  ◆ 有效減小崩邊和脫層,提高良率

  ◆ 開槽寬度,深度可調(diào)節(jié)

  ◆ 全自動運(yùn)行,集成保護(hù)液涂覆,晶圓開槽,清洗模塊


工藝流程:

  保護(hù)液涂覆---激光開槽---二流體水清洗





◆ 加工對象:low-k晶圓

◆ 激光種類:紫外半導(dǎo)體泵浦激光器

◆ 激光功率:≧5W

◆ 冷卻方式:封閉式循環(huán)水冷

◆ X軸:行程450mm,解析度0.1μm

◆ Y軸:行程500mm,解析度0.1μm

◆ Z軸:行程15mm,解析度0.1μm

◆ θ軸:行程120°,解析度0.001°

◆ 開槽深度:>10μm

◆ 切割軸速度:0-500mm/s

◆ 加工尺寸:12寸

◆ 上表面精度:0.01mm/300mm 

◆ 清洗盤轉(zhuǎn)速:2500r/min

◆ 位置精度:0.01°

◆ 加工方式:正面開槽,全自動加工

對焦方式:自動對焦

◆ 打光系統(tǒng):點(diǎn)光源





應(yīng)用材料和領(lǐng)域:

  ◆ 應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)40nm及以下線寬的low-k晶圓的表面開槽

  ◆ 適用于表面需要進(jìn)行劃線或者開細(xì)槽加工的半導(dǎo)體晶圓


加工效果示例圖:

    





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