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深圳市圭華智能科技有限公司
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Topcon SE激光摻雜設備
● 智能識別和追溯
● 高兼容性
● 高精度矯正、高精度劃線
● 高純度無損摻雜
● 光電轉換效率高
● 運行穩定,便于維修
| 設備型 號 | G8003 |
| 激光器 | >100W； 穩定性 < 2%RMS；衰減1年 < 5% ， 2年 < 10% |
| 激光壽命 | > 20000小 時 |
| 光斑尺 寸 | 80 ~100 um |
| 振鏡重復精度 | ±10u m |
| 掃描速度 | > 50 m/s |
| 適用 硅片 尺寸 | 182 *182mm - 230 * 230 mm |
| 產 能 | 182尺寸 > 9000片/小時 ( 柵線數量 < 132) ； 210尺寸 > 7500片/小時 ( 柵線數量 < 152 ) |
| 劃線光斑尺寸 | 90＊90 ± 5u m ， ( 80 ~ 100 um可調 ) |
| 視覺定位精度 | ±15um |
| 碎片檢測尺寸 | > 0 . 5 m m * 0 . 5 m m |
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