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深圳市圭華智能科技有限公司


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Topcon SE激光摻雜設(shè)備2

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

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更新時(shí)間：2024-11-05 13:47:47瀏覽次數(shù)：26次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Topcon SE激光摻雜設(shè)備2

詳細(xì)介紹

設(shè)備特點(diǎn)

● 智能識(shí)別和追溯

● 高兼容性

● 高精度矯正、高精度劃線

● 高純度無(wú)損摻雜

● 光電轉(zhuǎn)換效率高

● 運(yùn)行穩(wěn)定,便于維修




應(yīng)用領(lǐng)域


樣品展示

Topcon SE激光摻雜設(shè)備-.jpg



設(shè)備參數(shù)

設(shè)備型 號(hào)

G8003

激光器

>100W； 穩(wěn)定性 < 2%RMS；衰減1年  < 5% ， 2年 < 10%

激光壽命

> 20000小 時(shí)

光斑尺 寸

80 ~100 um

振鏡重復(fù)精度

±10u m

掃描速度 > 50 m/s

適用 硅片 尺寸

182 *182mm - 230 * 230 mm

產(chǎn) 能

182尺寸 > 9000片/小時(shí)  (  柵線數(shù)量 < 132)  ；

210尺寸 > 7500片/小時(shí)  (  柵線數(shù)量 < 152 )

劃線光斑尺寸

90＊90 ± 5u m ，   ( 80 ~ 100 um可調(diào)  )

視覺(jué)定位精度

±15um

碎片檢測(cè)尺寸

> 0 . 5 m m * 0 . 5 m m




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