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TGV玻璃晶圓打孔機

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地深圳市

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更新時間:2024-11-05 13:38:11瀏覽次數:25次

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產品簡介

TGV玻璃晶圓打孔機

詳細介紹

設備特點
●  最小2um直徑超微孔加工

●  行業內的深徑比1:150

●  5000孔/秒的超快加工速度

●  可加工通孔、盲孔、異型孔、單孔、集群陣列孔

●  微孔真元度高,的垂直度

●  孔側壁光潔度可做到100nm

●  適應鈣鈉玻璃,鋁硅玻璃,石英,寶石等透明材質



應用領域


樣品展示


設備參數

項目

技術參數

設備型號

G6000

平臺精度

重復精度±0.4um,定位精度±1um@20℃±1℃

平臺運行速度

運行速度1000mm/s,速度2000mm/s

平臺運行加速度

運行加速度2G,加速度4G

打孔效率

常規5000孔/秒,10000孔/秒

孔徑尺寸

2-200um±100nm

內壁光潔度

100nm

孔錐度

90±20°,錐度精度±0.2° 

平臺切割范圍

300*300mm

加工玻璃厚度

100um-3mm

徑深比

常規1:501:150

適應產品

玻璃晶圓,微流控芯片,MEMS,5G射頻,傳感器

適應材質

藍寶石≦0.5mm、玻璃、石英≦1.2mm



關鍵詞:傳感器

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