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濟南飛秒激光科技有限公司
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飛秒紫外激光器
產品特點：
一體式設計 體積小
高平均功率 出色的脈沖能量
脈沖能量穩定性高 適用于多個領域
超低噪聲 輸出功率高
更長壽命的穩定運行
擁有更高峰值功率
支持更加精密的加工
產品參數：
| MODEL | FML 343-6 |
| Wavelength 波長 | 343±2nm |
| Pulse Repetition Rate Range 重復頻率 | 1Hz~1000kHz |
| Pulse Width 脈沖寬度 | <400fs |
| Average Power 平均功率 | 6W@1MHz |
| Average Power Stability 平均功率穩定性 | <1% RMS over 8 hours |
| Pulse-to-Pulse Stability 單脈沖穩定性 | <3%rms over 10mins |
| Spatial Mode 光斑模式 | TEM00(M2 <1.3) |
| Beam Divergence Full Angle 光束發散角 | < 2 mrad |
| 1/e2 Beam Diameter 出口光斑直徑 | 1.5±0.2mm |
| Beam Roundness 光斑圓度 | >85% |
| Beam Pointing Stability 指向穩定性 | <50urad |
| Polarization Direction 偏振方向 | Horizontal |
| Polarization Ratio 偏振比 | >100: 1 |
| Operating Voltage 工作電壓 | 90-260VAC |
| Cooling 冷卻方式 | Water-cooling |
應用范圍：
OL ED切割
半導體晶圓切割
薄膜和箔片切割
柔性電路
低介電常數材料加工等
|
晶圓切割 |
不銹鋼鉆孔 |
|
薄膜切割 |
不銹鋼片加工 |
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