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氣體質(zhì)量流量控制器WGLD-380（數(shù)字）是熱式質(zhì)量流量計。氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，以下簡稱MFC）可對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。本產(chǎn)品主要應(yīng)用的行業(yè)有材料科學、環(huán)境科學、光伏半導(dǎo)體及化工等領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點（優(yōu)勢）：

本具有穩(wěn)定可靠、響應(yīng)時間短、標定精度和重復(fù)精度高等優(yōu)點，安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數(shù)字信號轉(zhuǎn)換器（AD/DA轉(zhuǎn)換器）配合計算機使用。

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	氣體質(zhì)量流量控制器WGLD-380（數(shù)字）
基本型號	WGLD-380	WGLD-380M
流量規(guī)格①(N2標定)	0～10,50,100,500 SCCM 0～15,20,25,30 SLM
調(diào)節(jié)閥類型	常閉式	無
量程比	(2~100)%F.S.［（1~99.9%F.S.）可選］
流量分辨率	0.1%F.S.
準確度	±1％F.S. (≤15SLM) ±2％F.S. (＞15SLM)
重復(fù)精度	±0.2%F.S.
響應(yīng)時間	≤2sec	≤1sec
工作壓差范圍	0.05～0.3MPa （<2slm）<> 0.1～0.3MPa （2SLM-10SLM）0.15～0.3MPa （>10SLM）	＜2MPa
至大耐壓	2MPa
工作環(huán)境溫度	5~45°℃
電纜接頭	DB15pin(針形)
輸入輸出信號	0～+5.00V（輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA) RS485 MODBUS	0～+5.00V（無輸入信號，輸出電流不大于3mA) RS485 MODBUS
供電電源要求	15VDC - 24VDC(300mA)	15VDC - 24VDC(300mA)
對外單點泄漏率	≤1×10-8Pa·m3/S(He)
介質(zhì)接觸材質(zhì)	316，316L，密封填料
密封材料	氯丁橡膠CR,氟橡膠 FKM
管道接頭尺寸	VCR 型接頭：1/4" 雙卡套型接頭：1/4"、1/8"或φ6、φ3mm 內(nèi)螺紋：9/16-18UNF內(nèi)螺紋（深度＜8mm）
凈重量	1.0kg	0.8kg
注1；滿量程流量不限于表中列出的流量規(guī)格,可以在20SLM~30SLM范圍內(nèi)任選,例如23SLM。