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智能氣路控制儀是基于熱式氣體質量流量控制器，來進行多種氣體混合，濃度稀釋的一種裝置?？筛鶕蛻舻男枨蠖ㄖ撇煌臍怏w、流量、濃度稀釋范圍，并利用軟件進行控制。
產品優勢：
? 流量監測、記錄 ? 自動多段進氣
? 濃度自動配比 ? 多種氣體可選
? MFC 故障監測 ? 超壓檢測與報警處理
? 無線通訊控制（可定制） ? 手機APP監測（可定制）
產品參數：
產品名稱 | 智能氣路控制儀 | |
項目 | 參數 | 備注 |
流量范圍 | 標準四路 | 100SCCM 500SCCM 2SLM 5SLM (其他量程可定制，至大量程不超過30SLM) |
精度 | ±1%F.S. | 其他精度可選 |
響應時間 | 2秒 | |
重復性 | 0.2%F.S. | 單路重復精度0.2%F.S. |
截止功能 | ≤0.6MPa | 標配，位于總出氣口，常閉截止閥 |
整機尺寸 | 490mm×500mm×200mm | 深×寬×高 |
供電電壓 | 220VAC | 100W |
單項功能 | √ | 4路標配，位于混氣前，避免氣體返流 |
自動進氣 | √ | 4路標配，按時間和流量自由編輯 10段數據點，3組數據切換，任意循環（定制） 可實現：濃度配氣，時間配氣，壓力配氣 |
自動報警 | √ | 標配，自動報警，自動關斷，實時監控設備狀態 |
數據處理 | √ | 標配，數據記錄保存，導出到U盤進行存儲 |
外接通訊 | 可選 | MODBUS-RTU |
漏率 | ＜1×108atm.cc /sec He | |
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