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蘇州博宏源機械制造有限公司
一、產品用途主要用于半導體、藍寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨,尤其對于超薄工件的加工具有明顯的優勢
主要用于半導體、藍寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨,尤其對于超薄工件的加工具有明顯的優勢。
序號 | 項目 | 指標要求 |
1 | 環境 | 室內地面平坦、無振動源、無灰塵煙霧污染 |
2 | 水源 | 純水或自來水 |
3 | 電源 | 約70kW AC380V 50Hz(總功率) |
4 | 氣源 | 壓縮空氣源 0.6Mpa,接口φ16mm(外徑) |
5 | 溫度 | 10℃-25℃ |
6 | 相對濕度 | ≤95% |
7 | 外形尺寸(長x寬x高) | 3700x3000x4100mm(含地腳高度及電器柜尺寸) |
8 | 主機重量 | 28000Kg |
9 | 主機顏色 | BH白或訂制 |
序號 | 項目 | 特點 | |
1 | 壓力控制 | 運動控制器+壓力傳感器+電氣比例閥+低摩擦氣缸實現高精度壓力控制,上盤使用壓力1200Kg,精度可達2% | |
2 | 上盤調心 | 采用萬向節結構,調心靈活,承載力高 | |
3 | 上盤防落裝置 | 雙重機械鎖定,安全性更高 | |
4 | 高精度速度控制 | 自編程實現低速平穩、啟停同步運轉控制,內外齒圈采用伺服控制,速度控制更精準 | |
5 | 精密傳動系統 | 高精度小齒隙全齒輪傳動 | |
6 | 下盤支撐 | 高精度流體軸承支撐 | |
7 | 免維護設計 | 齒輪采用自動集中潤滑裝置,關鍵器件采用進口品牌,軸承留有潤滑接口 | |
8 | 強制散熱系統 | 軸流風機排熱方式,并預留抽風接口,用戶可自行連接 | |
9 | 清洗便捷 | 低臺面、半裸式接液盆 | |
10 | 同步升降 | 齒圈太陽輪同步升降,采用伺服電機拖動,可自動或手動調節高度,延長使用壽命 | |
11 | 游輪精確定位 | 齒圈太陽輪采用伺服電機拖動,可實現游輪的精確定位 | |
12 | 水液分離裝置 | 水液切換程序控制,自動分離,操作便捷,清洗水可自動排放 | |
13 | 整機減振 | 防振式結構設計安裝,設備更穩定 | |
14 | 防護設計 | 齒圈、太陽輪采用不銹鋼制作,接液盆,托盤、拋盤等接觸到工作液的地方均噴涂特氟龍 | |
15 | 供液系統 | 桶體設有排污口,具備溫度、液位監測,具有加熱和冷卻功能,具有液泵和攪拌泵,出口設有過濾器,管路設有流量監測,能在線實時檢測流量 | |
16 | 自動測厚 | 設備裝有機械測厚系統,能在線實時檢測工件加工厚度 | |
17 | 分級管理 | 密碼分級管理,不同人員具有不同的操作權限 | |
18 | 工藝適用性 | 程序控制 | 可儲存多套工藝參數,每套工藝可達20步,工藝參數設置包括(壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等) |
速比搭配 | 四電機獨立同步拖動,上下盤、內齒、外齒(即可正轉,也可反轉)轉速可任意設定,具有配方功能 |
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