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賽福儀器承德有限公司
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CIF推出全新一代CPC系列桌面型、可中試生產、模擬生產條件的等離子體清洗設備，幾乎具備等離子體清洗設備所有的功能。具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積，使用成本低，性價比高，易維護，處理快速高效，特別適合于大學，科研院所和光電企業實驗室小批量中試生產。
產品特點：
觸摸按鍵 +4.3 寸液晶顯示屏+雙浮子流量計組合控制方式，經濟實用。
手動、自動兩種工作模式。
采用美國德威爾（Dwyer）氣體浮子流量計，雙路氣體控制。
弧形等離子激發板，等離子激發能力更強。
符合人體功能學的60度傾角操作界面設計，操作方便，界面友好。
上控制下艙體上下結構設計，結構更合理，占用實驗室空間小。
內凹式前面板設計，有效保護流量計和艙門運輸過程中不易損壞。
安全保護，倉門打開，自動關閉電源。
技術參數：
型號 | CPC-10 | CPC-10plus |
艙體尺寸 | D300xΦ215mm | D300xΦ215mm |
艙體容積 | 10.8L | 10.8L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 |
射頻功率 | 10-300W可調 | 10-150W可調 |
氣體控制 | 雙浮子流量計（標配） | |
處理尺寸 | L215xW300mm | |
產品尺寸 | L555xW480xH525mm | |
包裝尺寸 | L680xW605xH790mm | |
時間設定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速約8m3/h | |
氣體穩定時間 | 1分鐘 | |
真空度 | 100pa以內 | |
電 源 | AC220V 50-60Hz | |
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