智能烘箱過程管理系統(tǒng)由上海旦順實業(yè)有限公司自主研發(fā)，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實現(xiàn)自動化烘烤，過程管理。控制方便、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造，大大提高生產(chǎn)效力！

無塵烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu)。

特點：

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 10/Class 100

2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

3.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生PARTICLE；

4.采平面水平由后向前送風后經(jīng)高溫H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風道設(shè)計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)

烘箱主要參數(shù)介紹：

溫度范圍：室溫+20℃～300

規(guī)格尺寸：

均勻度：±1.5%

潔凈等級：Class10  Class100（潔凈度要求可根據(jù)客戶需求配置）

升溫速度：常溫～+600℃,升溫速率：0~7℃/min，升溫斜率程序可控

降溫速度：降溫斜率程序可控

控制系統(tǒng)：歐姆龍PCL+10寸觸摸屏。