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深圳市韻騰激光科技有限公司


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半導體晶圓激光打孔機

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更新時間:2024-12-10 22:42:17瀏覽次數:5次

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產品簡介

歡迎個性定制專業定制團隊可根據客戶的需求,提供個性化定制服務

詳細介紹

歡迎個性定制

 專業定制團隊可根據客戶的需求,提供個性化定制服務。如有此類需求,歡迎咨詢客服熱線:。

歡迎免費打樣
 韻騰激光可以提供免費打樣服務。技術咨詢,工藝咨詢,產品咨詢,乘車咨詢,請直接來電!

歡迎實地參觀
 韻騰激光的產品品質行業,歡迎來公司實地參觀考察!多家企業激光品牌,多家企業共同見證。

1、該設備采用IPG激光器,功率穩定、壽命長、免維護

2、孔深比大,微孔圓度好

3、光路固定,平臺移動,孔型一致性好,垂直度好

4、同步運動打孔,速度快

5、自動布孔,孔距可設定,準確打孔

6、引導入DXF、PLT等圖形,根據圖形要求打孔

7、采用雙閉環位置控制,精度高

8、真空吸附,操作方便

9、吸塵處理,設備可放于超凈間

相關應用:

應用于硅晶片,半導體晶圓,非晶薄膜等材料

技術規格參數:

序號項目技術參數
 光學單元
1激光器類型355、532、1064nm可選 10ps
2冷卻方式恒溫水冷
3激光功率10~100W
4光束質量M2<1.3
5聚焦方式&加工頭數單點&平場聚焦鏡、雙頭
6最小聚焦光斑直徑

Ф3--15μm

激光加工性能
7加工速度100~3000mm/s可調
8最小崩邊3μm
9加工材料厚度2mm
10加工尺寸&精度12inches, ±5μm
機械單元
11機床結構龍門式
12機床運動軸數&種類最多8軸,  X,Y,  Z, &θ軸
13平臺行程&速度650mm×450mm,800mm/s
14運動平臺重復精度≤±1μm
15運動平臺定位精度≤±3μm
軟件控制單元
16激光加工&平臺控制Strongsoft, Strongsmart
17加工文件導入格式Dxf, Plt, DWG, Gebar
18CCD視覺定位軟件AISYS Vision
19CCD視覺定位精度≤±3μm
電氣單元
20PLC控制器Panasonic
21真空系統真空泵
22除塵&集塵系統專業粉塵過濾集成凈化機 
自動化單元
23自動上下料系統XZ軸+可移動上下料平臺
高級可選單元
24AOI視覺檢測8--12寸大片/3min
25自動裂片功能8--12寸大片/3min
26自動清洗分選8--12寸大片/3min
安裝環境
27整機供電&穩壓器功率220V380V,8KW
28壓縮空氣壓強≥0.6MPa
29無塵室等級10000
30地面承重 2T/m2
31保護氮氣 高純氮


切割、鉆孔樣品:

盛雄激光-2.jpg

為什么選擇韻騰激光 Why choose rhythm laser

的研發團隊

85%的公司員工擁有大專及以上學歷,技術研發人員占總人數的一半以上,其中研發骨干人員代表著行業內水平。

豐富的行業經驗

公司自2013年成立以來,風雨兼程一路走來,憑借著的專業技術和強大的研發優勢,成功的為近300家不同行業企業提供了激光設備及其應用服務,積累了的豐富的行業經驗。


一體化的解決方案

公司始終秉承以市場為導向,解決客戶實際需求為己任。

開發完成 觸摸屏行業 TP銀漿線+ITO自動定位蝕刻系統方案,FPC+PCB高精密

自動送料切割系統。

專注  專業  合作  共贏是我們多年來前行的動力!

免費方案設計

免費樣品評估

免費報價咨詢

標準機器免費試用

相關業務人員。



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