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掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900

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日立高新技術(shù)（上海）國際貿(mào)易有限公司北京分公司

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產(chǎn)品簡介

集優(yōu)異性能、操作簡便性、多樣化功能于一身日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴展性，結(jié)合眾多的自動化功能，可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察。

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掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900

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掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900

集優(yōu)異性能、操作簡便性、多樣化功能于一身

日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴展性，結(jié)合眾多的自動化功能，可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察。

特點
①多功能超大樣品倉
②各種自動化功能
③測試需求的應(yīng)用解決方案,探測器
④觀察分子案例
⑤應(yīng)用圖例
規(guī)格

特點

特徴

①SU3900標配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察

■樣品臺可搭載超大/超重樣品

通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率
具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
紅外CCD探測器，提高了樣品臺移動的安全性

■支持全視野移動。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導航相機
覆蓋整個可觀察區(qū)域
支持360度旋轉(zhuǎn)

②隨著各種自動化功能的強化，操作性能得到了進一步優(yōu)化。

■一個鼠標就能夠輕松操作的簡約GUI

■各種自動化功能

自動調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
提高了自動聚焦精度
搭載Intelligent Filament Technology（IFT）

■Multi Zigzag，可實現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

■Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告

③可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案

■可滿足多種觀察需求的探測器

搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察
高靈敏度半導體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像

■配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件

>■SEM/EDS一體化功能*

■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

■支持圖像測量軟件Image pro

*配件

①多功能超大樣品倉

①標配多功能超大樣品倉，支持大型樣品分析

■樣品臺可搭載超大/超重樣品

通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
GUI上顯示更換樣品的操作步驟。可以避免因人為的誤操作而導致樣品污染或損壞。即使是難以檢測高度的凹凸不平的樣品或者是超大樣品，也能夠輕松更換。
樣品交換倉*
選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率
具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
SU3800 / SU3900配置了樣品臺自由模式，開放了樣品臺移動的自由度。操作人員可自行判斷，自由移動樣品臺。
※選擇樣品臺自由模式時，請同時選配紅外CCD探測器。
紅外CCD探測器*，提高了樣品臺移動的安全性
紅外CCD探測器是用于監(jiān)控樣品倉內(nèi)部的裝置。通過使用紅外線攝像機，可以在觀察SEM圖像的同時監(jiān)視樣品倉內(nèi)部情況。為了獲得更詳細的位置，放大CCD圖像，并且移動觀察位置。

*配件

■支持全視野移動,SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導航相機
與GUI聯(lián)合的SEM MAP，正是因為采用了樣品倉室導航相機，才得以實現(xiàn)廣角相機導航功能*。在SEM MAP上觀察目標位置，可以順利地移動到任意位置上。使用大視野相機導航系統(tǒng)拍攝的圖像或外部圖像，通過自由放大或縮小圖像，可以將大視野的彩色圖像切換到高倍率的SEM圖像。

*配件
覆蓋整個可觀察區(qū)域
相機導航系統(tǒng)通過圖像拼接功能可以實現(xiàn)大視野的SEM MAP觀察。觀察區(qū)域為直徑130mm（SU3800）/ 直徑200mm（SU3900），并且可以與樣品臺R一起聯(lián)動，移動到大型樣品的觀察區(qū)域。
支持360度旋轉(zhuǎn)
SEM MAP操作界面可直觀的顯示樣品與探測器的位置關(guān)系，因此在觀察高度差大的樣品時，可根據(jù)需求旋轉(zhuǎn)樣品臺或電子束來獲得的觀察分析位置，避免陰影效應(yīng)造成的影響。

②各種自動化功能

②隨著各種自動化功能的強化，操作性能得到了進一步優(yōu)化。

■一個鼠標就能夠輕松操作的簡約GUI

搭載了簡約UI，簡單操作，如同觸屏般直觀。

從移動樣品臺到樣品觀察，輕輕點擊鼠標即可實現(xiàn)
也可觸屏操作
主窗口為1280x960像素的大窗口
可以切換顯示模式，并且同時顯示/拍攝兩種不同的信號

■各種自動化功能

自動調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時間減少至以往的1/3以下（※S-3700N比例）
樣品安裝完成后，通過自動光路調(diào)整及各種自動功能調(diào)整圖像，隨后可立即獲得樣品圖像。高度自動化功能采用全新設(shè)計的演算程序，在執(zhí)行圖像自動調(diào)整功能時，等待時間縮短到以往的1/ 3以下。
采用了新的算法，提高了自動聚焦精度
　全新升級的自動聚焦調(diào)整功能，即使是以往難以調(diào)整的光滑樣品，也能夠輕松得到良好的圖像。
搭載Intelligent Filament Technology（IFT）
自動監(jiān)視燈絲的狀態(tài)，自動控制使其一直處于性能的狀態(tài)。
搭載顯示燈絲更換時間的顯示屏。
通過該功能，使得原來難以對應(yīng)的長時間連續(xù)觀察以及數(shù)據(jù)分析等大范圍分析均可以安心實現(xiàn)。

■Multi Zigzag*，可實現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

Multi Zigzag可以自動獲取連續(xù)的視野。可以在不同的視野中拍攝多張高倍率圖像，并使用Viewer功能拼接拍攝的圖像，創(chuàng)建大視野圖像。

*配件

Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告
在Report Creator中，可以將SEM圖像，EDS數(shù)據(jù)和CCD相機圖像等采集的圖像統(tǒng)一整合，生成報告。創(chuàng)建的報告可保存為Microsoft Office®格式。保存的文件可通過Microsoft Office®進行編輯。

③測試需求的應(yīng)用解決方案,探測器

③可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案

■可滿足多種觀察需求的探測器

搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察
SU3800 / SU3900配備了高靈敏度低真空探測器UVD。除了樣品表面的凹凸圖像之外，還可以通過檢測電子束照射樣品而產(chǎn)生的陰極熒光，來獲取CL信息。
高靈敏度半導體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像。

通過采用4分割+1單元的設(shè)計，對每個單元進行計算，無需傾斜樣品，即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像。由于探測器的設(shè)計十分精巧，且靈敏度高，實現(xiàn)了高分辨率和高信噪比。

■配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件

　 SU3900標配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察。

■SEM/EDS一體化功能*

SU3800/SU3900全新研發(fā)的SEM/EDS一體化功能，通過SEM操作界面即可完成測試位置確定、條件設(shè)置、樣品分析以及生成報告等一系列操作。通過SEM的全面控制，可以提高測試效率，減輕了操作人員的負擔。

■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

Hitachi Map 3D可對SU3800/SU3900的5分割背散射電子探測器當中的4個不同方向的SEM信號進行演算分析，生成三維圖像。支持2點間高度、體積和簡易表面粗糙度（面粗糙度、線粗糙度）測量。可一次性接收四個不同方向的信號，因此，無需傾斜樣品臺或合成圖像。

■支持圖像測量軟件Image pro

SU3800 / SU3900搭載了IPI，可以將SEM圖像傳輸?shù)接擅绹鳰edia Cybernetics公司開發(fā)的圖像處理軟件Image Pro。只需單擊一下，即可將數(shù)據(jù)從SEM傳輸?shù)綀D像測量軟件。

④觀察分子案例

礦物的觀察分析案列

顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀察結(jié)果。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差。但是,在CL圖像中可以確認到暗色區(qū)域是對應(yīng)于錯濃度較高的區(qū)域。

⑤應(yīng)用圖例

應(yīng)用圖例

金屬材料

陶瓷材料

電子零件

生物/醫(yī)藥品

規(guī)格

ITEM		SU3800	SU3900
二級電子分解能		3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式）
二級電子分解能		15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式）
背散射電子分解能		4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式）
倍率		×5～×300,000（照片倍率*1）
倍率		×7～×800,000（實際顯示倍率*2）
加速電壓		0.3kV～30kV
低真空度設(shè)定		6～650 Pa
圖像位移		±50µm（WD＝10mm）
樣品尺寸		200mm直徑	300mm直徑
樣品臺	X	0～100mm	0～150mm
	Y	0～50mm	0～150mm
	Z	5～65mm	5～85mm
	R	360°連續(xù)
	T	－20°～+90°
	可觀察范圍	130mm直徑（R并用）	200mm直徑（R并用）
	可觀察高度	80mm（WD=10mm）	130mm（WD=10mm）
	電機驅(qū)動	5軸電機驅(qū)動
電子光學系統(tǒng)	電子槍	中心操控式鎢絲發(fā)射
	物像鏡頭光圈	4孔可動光圈
	檢測系統(tǒng)	二級電子檢測器、高靈敏半導體背散射電子檢測器
	EDX分析WD	WD＝10mm（T.O.A＝35°）
圖像顯示	自動光軸調(diào)整功能	自動光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC）
		自動光軸調(diào)整（實時級別對齊）
		自動調(diào)整光束亮度
	自動圖像調(diào)整功能	自動亮度和對比度控制（ABCC）
		自動對焦控制（AFC）
		自動標記和焦點功能（ASF）
		自動燈絲飽和度調(diào)整（AFS）
		自動光束對準（ABA）
		自動啟動（HV-ON→ABCC→AFC）
操作輔助功能		光機旋轉(zhuǎn)、動態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點對點測量、角度測量、文本）、預(yù)設(shè)放大、樣品臺位置導航功能（SEM MAP）、光束標記功能
配件		■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機導航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成
配件（外部裝置）		能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）、各種外部功能臺（加熱臺、冷卻臺、牽引臺）