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HPG400 高壓熱電離皮拉尼復(fù)合真空計

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更新時間：2023-12-17 09:44:33瀏覽次數(shù)：181次

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深圳市萬德泉科技有限公司

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商鋪產(chǎn)品：22條

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聯(lián)系人：簡俊勇

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產(chǎn)品簡介

HPG400 高壓熱電離皮拉尼復(fù)合真空計HPG400 大氣壓至高真空真空計 INFICON 高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計將高壓熱電離技術(shù)與皮拉尼傳感器整合在一個單個緊湊經(jīng)濟(jì)的裝置中，可測量 2×10-6 毫巴至大氣壓（1.5×10-6 托至大氣壓）范圍內(nèi)的壓力。 HPG400 型真空計為精確的濺射過程壓力控制提供重復(fù)測量并再現(xiàn)測量數(shù)據(jù)。市場價： 0.00價格：0.00產(chǎn)品描述：：大氣壓至高真空真空計型號： HPG400 ......

詳細(xì)介紹

HPG400 大氣壓至高真空真空計

INFICON 高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計
將高壓熱電離技術(shù)與皮拉尼傳感器整合在一個單個緊湊經(jīng)濟(jì)的裝置中，可測量 2×10^-6 毫巴至大氣壓（1.5×10^-6 托至大氣壓）范圍內(nèi)的壓力。 HPG400
型真空計為精確的濺射過程壓力控制提供重復(fù)測量并再現(xiàn)測量數(shù)據(jù)。

益處

HPG400 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空系統(tǒng)安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
高壓熱電離真空計可以準(zhǔn)確可靠地測量 1×10^-5 … 1 毫巴范圍內(nèi)的壓力，進(jìn)而改善過程控制
用戶可選的熱離子發(fā)射在 5×10^-2 至 1 毫巴之間啟動
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱絲，防止過早燒毀
備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
RoHS 合規(guī)

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體制造、電子和媒介產(chǎn)業(yè)中的濺射應(yīng)用
工業(yè)鍍膜
低真空和高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

零件號

HPG400
零件號	明細(xì)
353-520	皮拉尼真空計
354-486	HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF
353-521	HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-522	HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-523	HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-525	HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-526	HPG400-SP PBus，DN 40 CF-F
353-527	HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-528	HPG400-SD DNet DN 40 CF-F

規(guī)格

類型 HPG400

測量范圍（空氣，N₂） mbarTorr 2×10^-6 … 1000

精度

10^-5 … 1 毫巴 % of reading ±15 ⁽¹⁾

可重復(fù)性

10^-5 … 10^-1 毫巴 % of reading 2

10^-1 … 100 毫巴 % of reading 30

熱離子發(fā)射，可選：

選購件 1 mbar 1

選購件 2 mbar 5×10^-1

選購件 3 mbar 2×10^-1

選購件 4 mbar 1×10^-1

選購件 5 mbar 5×10^-2

壓力， bar (absolute) 2

溫度

運行（環(huán)境） °C 0 … +50

貯存 °C -20 … +70

在法蘭處烘烤 °C 80

移除烘烤電子設(shè)備 °C 150

電源電壓 V (dc)A (dc) 20 … 28

輸出信號模擬

輸出信號 V 0 … +10.2

測量范圍熱陰極 V 1.5 … 7.5

測量范圍皮拉尼 V 8.5 … 9.75

電壓比壓強熱陰極 volts per decade 1

電壓與壓強皮拉尼 volts per decade 0.25

錯誤信號熱陰極 V 0.3

錯誤信號皮拉尼 V 0.5

最小負(fù)載電阻 k? 10

接口（數(shù)字）(2) RS232C

電氣連接 D-Sub, 15-pin, male

電纜長度， (3) m (ft.) 100 (330)

暴露于真空的材料 Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

內(nèi)部容積 KF / CF cm3 (in.3) 20 (1.2) / 30 (1.8)

重量 KF / CF g 430 / 695

保護(hù)等級 IP30

DeviceNet™

協(xié)議 DeviceNet™, group 2 slave only

數(shù)據(jù)率開關(guān) kBaud 125, 250, 500 or network programmable

電纜長度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)

電纜長度 250 kbps m (ft.) 250 (825)

電纜長度 500 kbps m (ft.) 100 (330)

MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable

網(wǎng)絡(luò)規(guī)模 up to 64 nodes per segment

數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

可視通信指示器 LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)

技術(shù)規(guī)格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

設(shè)備類型 ''CG'' for combination gauge

I / O 從屬傳訊 polling only

設(shè)定點繼電器：設(shè)定點數(shù)量 2

設(shè)定點繼電器：范圍 mbar 2×10^-6 … 100

設(shè)定點繼電器：繼電器觸點 n.o., potential free

設(shè)定點繼電器：滯后 % of reading 10

設(shè)定點繼電器：觸點額定值 V (dc)A (dc) 60

DeviceNet™ 電源電壓 V (dc)A (dc) 11 … 25

真空計電源電壓 V (dc) 20 … 28

DeviceNet™ 連接器 Microstyle, 5-pin

HPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點）連接器 D-Sub, 15-pin, male

Profibus DP

波特率 kBaudMbaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable

數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

設(shè)定點繼電器：設(shè)定點數(shù)量 2

設(shè)定點繼電器：范圍 mbar 2×10^-6 … 100

設(shè)定點繼電器：繼電器觸點 n.o., potential free

設(shè)定點繼電器：滯后 % of reading 10

設(shè)定點繼電器：觸點額定值 V (dc)A (dc) 60

Profibus DP 連接器 D-Sub, 9-pin, female

HPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點）連接器 D-Sub, 15-pin, male

(1) 精度從 10^-5 毫巴至所選熱離子排放值

(2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允許使用現(xiàn)場總線

(3) 適用于 RS232C 運行 <30m

零件號

HPG400

零件號明細(xì)

353-520 皮拉尼真空計

354-486 HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF

353-521 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF

353-522 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F

353-523 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F

353-525 HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF

353-526 HPG400-SP PBus，DN 40 CF-F

353-527 HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF

353-528 HPG400-SD DNet DN 40 CF-F

附件

HPG400

零件號明細(xì)

211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF

353-511 BPG400 24V電源

357-499 Baffle HPG (10 pieces)

備件

HPG400

零件號明細(xì)

354-487 HPG400 備用傳感器

354-488 HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F

數(shù)據(jù)表

HPG400 DE (283 kB)

HPG400 EN (282 kB)

HPG400 ES (283 kB)

HPG400 JA (409 kB)

HPG400 KO (333 kB)

HPG400 ZH (411 kB)

手冊

Hot Ion gauge brochure (2 MB)

手冊

TINA31E1_Operating manual_long (1 MB)

TIMA31E1_Operating manual_short (307 kB)

TIMA32E1_Operating manual for SD_SP_short (417 kB)

TIRA03E1_Communication Protocol for DeviceNet (323 kB)

TIRA36E1_Communication Protocol for ProfiBus (404 kB)

三維步驟文件

353-520 HPG400 without LCD (445 kB)

353-521 HPG400 without LCD (461 kB)

353-525 HPG400-SP with Profibus DP (467 kB)

353-527 HPG400-SD with DeviceNet (461 kB)

353-522 HPG400 without LCD (452 kB)

353-523 HPG400 with LCD (459 kB)

353-526 HPG with Profibus DP (470 kB)

353-528 HPG400-SD with DeviceNet (464 kB)

354-487 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF (31 kB)

354-488 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF (45 kB)

其他文件

HPG400-int.eds (33 kB)

HPG400-float.eds (33 kB)

HPG400_06A8.GSD (2 kB)

類型	HPG400
測量范圍（空氣，N₂）	mbarTorr	2×10^-6 … 1000
精度
10^-5 … 1 毫巴	% of reading	±15 ⁽¹⁾
可重復(fù)性
10^-5 … 10^-1 毫巴	% of reading	2
10^-1 … 100 毫巴	% of reading	30
熱離子發(fā)射，可選：
選購件 1	mbar	1
選購件 2	mbar	5×10^-1
選購件 3	mbar	2×10^-1
選購件 4	mbar	1×10^-1
選購件 5	mbar	5×10^-2
壓力，	bar (absolute)	2
溫度
運行（環(huán)境）	°C	0 … +50
貯存	°C	-20 … +70
在法蘭處烘烤	°C	80
移除烘烤電子設(shè)備	°C	150
電源電壓	V (dc)A (dc)	20 … 28
輸出信號模擬
輸出信號	V	0 … +10.2
測量范圍熱陰極	V	1.5 … 7.5
測量范圍皮拉尼	V	8.5 … 9.75
電壓比壓強熱陰極	volts per decade	1
電壓與壓強皮拉尼	volts per decade	0.25
錯誤信號熱陰極	V	0.3
錯誤信號皮拉尼	V	0.5
最小負(fù)載電阻	k?	10
接口（數(shù)字）(2)		RS232C
電氣連接		D-Sub, 15-pin, male
電纜長度， (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF	cm3 (in.3)	20 (1.2) / 30 (1.8)
重量 KF / CF	g	430 / 695
保護(hù)等級		IP30
DeviceNet™
協(xié)議		DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開關(guān)	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
電纜長度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
電纜長度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
網(wǎng)絡(luò)規(guī)模		up to 64 nodes per segment
數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可視通信指示器		LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技術(shù)規(guī)格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設(shè)備類型		''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊		polling only
設(shè)定點繼電器：設(shè)定點數(shù)量		2
設(shè)定點繼電器：范圍	mbar	2×10^-6 … 100
設(shè)定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設(shè)定點繼電器：滯后	% of reading	10
設(shè)定點繼電器：觸點額定值	V (dc)A (dc)	60
DeviceNet™ 電源電壓	V (dc)A (dc)	11 … 25
真空計電源電壓	V (dc)	20 … 28
DeviceNet™ 連接器		Microstyle, 5-pin
HPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP
波特率	kBaudMbaud	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設(shè)定點繼電器：設(shè)定點數(shù)量		2
設(shè)定點繼電器：范圍	mbar	2×10^-6 … 100
設(shè)定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設(shè)定點繼電器：滯后	% of reading	10
設(shè)定點繼電器：觸點額定值	V (dc)A (dc)	60
Profibus DP 連接器		D-Sub, 9-pin, female
HPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male