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芯茂（嘉興）半導體科技有限公司


倒角機

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更新時間：2023-10-27 13:25:04瀏覽次數：297次

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產品簡介

●采用高速旋轉的金剛石磨輪對晶圓邊緣進行高精度研削加工。●可加工Si、GaAs、InP、SiC、LT/LN 、藍寶石等多種晶圓材料。●兼容4-8in及12in專用晶圓加工，量產型。

詳細介紹

●采用高速旋轉的金剛石磨輪對晶圓邊緣進行高精度研削加工。
●可加工Si、GaAs、InP、SiC、LT/LN 、藍寶石等多種晶圓材料。
●兼容4-8in及12in專用晶圓加工，量產型。

3大特點
a.倒角精度
--角度：11o(H型)，22o(G型)
--寬幅、粗糙度：金剛石磨輪
b.中心定位
c.磨輪與旋轉臺距離的精密控制



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