真空機械手PHOENIX-B系列

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更新時間：2023-09-11 13:41:10瀏覽次數：183次

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沈陽新松機器人自動化股份有限公司

經營模式：其他

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產品簡介

直驅電機結構，全新的IO模塊，具有*的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能，通過SEMI認證。滿足個性化設計支持用戶定制，手臂長度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務。

詳細介紹

直驅電機結構具有更高的真空特性，內部結構沒有齒輪，皮帶等部件，系統運行的平穩性更好，可靠性更高。全新的IO模塊，具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據需求配置成互鎖，傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能，減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器，方便調試人員使用，并支持熱插拔功能。可以根據客戶應用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z軸行程，耐高溫耐腐蝕特性等。

參數：

本體重量Body Weight	50KG
適用晶圓尺寸Wafer Size	300mm/200mm/150mm/100mm
負載Payload	1KG
電源輸入Power Supply	AC電壓:AC208V AC頻率：50HZ/60HZ
節拍Bear	8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根據手指材料，傳輸位置不同相關)
動態偏差糾正精度(AWC)	±0.1mm
重復定位精度Repeatability	Z: ±0.05mm（3σ）
	T: ±0.003°（3σ）
	R: ±0.05mm（3σ）
漏率Leak rate	< 1 x 10^-9 std. cc/sec He
真空度Base Pressure	5X10^-9Torr
適用溫度 Applicable temperature	法蘭:<120℃;本體:<50℃;手臂:<120℃
潔凈度Clean Class	ISO CLASS1
MCBF	>11million cycles
復合運動 Compound motion	支持Support
PC遠程操作軟件	支持Support
通信接口Communications	Ethernet/串口serial interface
IO互鎖IO interlock	支持Support
安全區Safe area	支持Support
碰撞保護 Collision protection	支持Support
認證Certification	SEMI S2 /SEMI F47/CE