小流量氣體流量計(jì)（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內(nèi)優(yōu)良的微機(jī)電（MEMS）流量傳感器芯片技術(shù)，結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補(bǔ)償算法，所開發(fā)的一款智能化、高精度可進(jìn)行準(zhǔn)確的質(zhì)量流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。

小流量氣體流量計(jì)介紹：

溫度和壓力不敏感

超快的響應(yīng)速度

多種信號(hào)輸出方式

 公司專注于 MEMS 流量傳感器芯片、流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字風(fēng)速計(jì)等氣體流量檢測(cè)芯片和模組的研發(fā)和銷售，晶圓制造交由國(guó)外晶圓廠代工，封裝交由母公司制造平臺(tái)負(fù)責(zé)，該平臺(tái)具有9000平米千級(jí)無塵封測(cè)車間，具有ISO9001, ISO14001, IATF16949等品質(zhì)管理和制造認(rèn)證。相關(guān)流量計(jì)及控制器產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于氣體檢漏、氣體分析儀、實(shí)驗(yàn)室、熱氧化爐、擴(kuò)散爐等領(lǐng)域