擴散爐五點熱電偶

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產品簡介

擴散爐熱電偶：半導體專用測溫儀表擴散爐熱電偶分為：多晶鑄錠爐熱偶、擴散爐專用熱電偶、鑄錠爐熱電偶、profileTC、PaddleTC、SpikeTC多點式擴散爐熱電偶等，各種產品形態不一，大小與結構也盡不相同

詳細介紹

擴散爐熱電偶：

半導體專用測溫儀表擴散爐熱電偶分為：多晶鑄錠爐熱偶、擴散爐專用熱電偶、鑄錠爐熱電偶、profile TC、Paddle TC、Spike TC多點式擴散爐熱電偶等，各種產品形態不一，大小與結構也盡不相同。做為高精度擴散爐熱電偶來說，為各大光伏產業帶來了許多幫助。該產品為了生產加工PECVD的隔離導電性，外表的絕緣采用透明高純度石英管或高純度99%剛玉管制造而成，采用多個點位***測量，也有用戶采用多點測量法計算出爐內的平均值從而獲得應有的數據。

溫度測量在0~1800℃中使用，測量點分為單點和多點，點可達8個點的測量，精度符合國際標準，工業等級I級，1500度誤差2℃不到，精度相當高，代替進口產品。擴散爐熱電偶用于光伏產業、半導體的開發與研制、科研領域、單位、進口設備（如：Centrotherm擴散爐設備、ALD真空感應爐、GT Solar 的 DSS 爐等）、燒結爐、退火爐、真空爐、氧化爐、擴散爐等，可溶化多晶硅、生長多晶硅錠、單晶硅、非晶硅、無定形硅和玻璃等工藝測溫。

技術參數：
1、符合IEC584 GB/T18404-2001標準

2、精度等級：CLASS-A:0.25% ；CLASS-B:0.5%

3、Spike TC是用來測量與控制爐管外的各點溫度

4、profile TC與Paddle TC是用來測量與控制爐管內各點溫度

5、與spike和profile配套使用，可自動切換方式進行控溫

6、壽命長、精度高、穩定性好、交貨期短、可代替進口

7、擴散爐熱電偶總長含頭1750mm。（5點長：1700、1530、1200、870、700）

擴散爐熱電偶產品選型：

擴散爐爐外熱電偶（可帶螺紋、法蘭、裸露式）：

NAME	Spike TC (group ：1、2)
TYPE	SKFN-Spike TC	SKFN-Spike TC	SKFN-Spike TC	SKFN-Spike TC
GRADUATION	B-type	S-type	R-type	K-type
QUALITY	剛玉管、陶瓷管、石英管、鉬管
SPEC	Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0 mm
RANGE	0~1800℃	0~1600℃	0~1600℃	0~1300℃
SENSITIVITY	5s≤	5s≤	8s≤	10s≤
THERMAL ERROR	1.0℃	1.2℃	1.5℃	2.0℃
USE	真空爐、氧化爐、擴散爐
FIRM NAME	鉑銠熱電偶、擴散爐熱電偶、專用熱電偶

擴散爐爐內熱電偶（爐內、爐外）：

NAME	profile TC (point ：1、3、5、8）
TYPE	SKFN-profile TC1、SKFN-profile TC3、SKFN-profile TC5、SKFN-profile TC8
GRADUATION	B-type	S-type	R-type	K-type
QUALITY	剛玉管、陶瓷管、石英管、鉬管、鎢管
SPEC	Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0、Φ6.0、Φ8.0、Φ10.0mm
RANGE	0~1800℃	0~1600℃	0~1600℃	0~1300℃
SENSITIVITY	5s≤	5s≤	8s≤	10s≤
THERMAL ERROR	1.0℃	1.2℃	1.5℃	2.0℃
USE	燒結爐、退火爐、真空爐、氧化爐、擴散爐
FIRM NAME	石英熱電偶、多點熱電偶、擴散爐熱電偶、貴金屬鉑銠熱電偶

擴散爐爐內外熱電偶（鎧裝式、爐內、爐外、可彎曲）：

NAME	Paddle Tc
TYPE	SKFN-Paddle Tc
GRADUATION	B-type	S-type	R-type	K-type
QUALITY	GH3039、GH3030
SPEC	Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0、Φ6.0、Φ8.0、Φ10.0mm
RANGE	0~1300℃
SENSITIVITY	5s≤	5s≤	5s≤	6s≤
THERMAL ERROR	1.0℃	1.2℃	1.5℃	2.0℃
USE	真空爐、氧化爐、擴散爐
FIRM NAME	鎧裝鉑銠熱電偶、擴散爐熱電偶、微細鎧裝鉑銠熱電偶