一、關(guān)于氬氣純化的方法:
種
直接脫氧法。就是使用活性金屬、催化劑與氬氣中的氧氣進(jìn)行反應(yīng),消化掉氬氣中的氧氣,從而達(dá)到脫氧的目的,經(jīng)過(guò)分子篩吸收掉氬氣中的水份,使氬氣的含水量小于1ppm。
第二種
是采用吸氣劑。在一定溫度下,吸氣劑可吸收氮、氫、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體經(jīng)吸收處理后,氬氣的純度可達(dá)到6個(gè)九,這種工藝生產(chǎn)出來(lái)的高純氣體適用于各類(lèi)儀器儀表適用要求。
種方法設(shè)備投資小,第二種方法設(shè)備純化純度高但投資相對(duì)較大。
二、技術(shù)參數(shù):
1、處理氣量: 5~3000 Nm3/h(可根據(jù)用戶需要訂做非標(biāo)設(shè)備)
2、原料氣要求: 液氬或者較好的管道氬均可使用
3、工作壓力0.2-1.6MPa可調(diào)
4、(氬氣凈化器)凈化效能:純化后符合并高于GB/T4842-2006的99.9996%要求
氣體
純度(%)
H2(ppm)
O2(ppm)
N(ppm)
CO2(ppm)
CH4(ppm)
露點(diǎn) (H2O)
精氬
99.9996
≤0.5
≤0.5
≤0.5
≤0.5
≤0.5
≤1.5
三、設(shè)備特點(diǎn):
1、凈化劑特點(diǎn)有吸附深度好,吸收雜質(zhì)氣體量大的特點(diǎn),純度可達(dá)99.99999%以上;
2、凈化器采用特殊結(jié)構(gòu)和裝料方法,流速設(shè)計(jì)合理,氣流分布均勻;
3、全B內(nèi)外精拉管管路。采用進(jìn)口卡套式球閥。杜絕了氣體流經(jīng)管路的再次污染。
4、雙式結(jié)構(gòu),開(kāi)機(jī)后一組工作,另一組再生、備用,而且RZ-YA-C系列半自動(dòng)純化裝置工作和再生都自動(dòng)進(jìn)行,故能夠連續(xù)供氣,一臺(tái)能頂單式的兩臺(tái)使用。
5、本公司生產(chǎn)的RZ-YA-D系列全自動(dòng)氬氣純化裝置功能說(shuō)明:
A、具有全自動(dòng)功能,使用操作簡(jiǎn)單,開(kāi)、停機(jī)只需按兩個(gè)按鈕,不需扭動(dòng)任何閥門(mén),這些工作都由PLC程序自動(dòng)進(jìn)行;這還克服了手動(dòng)和半自動(dòng)機(jī)型因人為操作失誤引起的氣體不純,因此純氣質(zhì)量也更加穩(wěn)定。
B、控制文本顯示器采用合資品牌-昆侖通泰7吋液晶觸摸屏,實(shí)時(shí)模擬顯示工作流程狀態(tài)和各種參數(shù)顯示,并隨時(shí)可以實(shí)現(xiàn)各參數(shù)的修正,極大的方便工作人員的操作。
C、可根據(jù)用戶需要配備在線分析儀,時(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)。
四、應(yīng)用領(lǐng)域:
該系列氬氣純化裝置用于高純氣體充裝站、焊接、不銹鋼制造、冶煉,還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護(hù)氣。
關(guān)鍵詞
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