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ZM01 VOC傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬…
ZM01 VOC傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當傳感器處存在敏感氣體環境中時,傳感器的電導率隨空氣中被檢測氣體的濃度而發生改變。 該氣體的濃度越高,傳感器的電導率就越高。該傳感器靈敏度高,小巧精密,采用I2C數字信號輸出方式,便于多個傳感器組網觀測,同時預置一個引腳作為報警觸發信號輸出,可廣泛應用于環境安全,便攜儀器等諸多領域。
MEMS工藝、 穩定可靠、 超低功耗、 高靈敏度、 抗電磁干擾
環境監測、便攜儀器、醫療衛生、現場控制
工作電壓 | 3.0V | 工作電流 | ≤25mA |
加熱功率 | 80mW | 量程 | 5ppm |
輸出方式 | I2C從機模式 | 默認地址 | 0x55 |
I2C速率(V) | 10-100kbps | 上拉電阻 | 需外置上拉電阻 |
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