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行業(yè)產(chǎn)品

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上海爾迪儀器科技有限公司


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Diener Special plasma system Tetra 2800-LF-PC

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間：2022-12-09 11:04:39瀏覽次數(shù)：120次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：298條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：張經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

Diener Special plasma system Tetra 2800-LF-PC

詳細介紹

生產(chǎn)設(shè)備 Tetra 2800-LF-PC 具有 2,800 升的真空容積，并配有 PC 控制系統(tǒng)，可用于批量生產(chǎn)（清洗、蝕刻和活化）：

技術(shù)參數(shù)

開關(guān)柜：
寬 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm

腔室：
∅ 1200 mm、深 2500 mm

腔室容積：
約 2800 升

氣源：
3 個由 MFCs 控制的氣體通道

發(fā)生器：
1 件 (40 kHz)
（可選： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）  

控制系統(tǒng)：
配有工業(yè)現(xiàn)場總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)


關(guān)鍵詞：PC
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