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Diener等離子清洗機(jī)NANO系列

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Diener等離子清洗機(jī)NANO系列

詳細(xì)介紹

低壓等離子清洗機(jī) Diener NENO系列

低壓等離子技術(shù)，氣體在真空中通過獲取能量從而被激發(fā)。等離子由高能離子、高能電子以及其它反應(yīng)粒子組成。由上，材料表面可以被有效的改變。等離子效應(yīng)可分為以下三類：

一微砂噴射：材料表面通過離子轟擊被消減

二化學(xué)反應(yīng)：材料表面與離子化的氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)

三紫外線放射：紫外射線將長(zhǎng)鏈碳化合物分解

NANO多種配置，滿足不同客戶需求

VERSION A

VERSION C

VERSION D

VERSION B

VERSION E

Nano 等離子系統(tǒng)能夠以不同的形式進(jìn)行整合，例如以模塊系統(tǒng)的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Nano 等離子系統(tǒng)一同使用的見的選裝件： Nano 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

分析
考古
汽車行業(yè)
研究和開發(fā)部門
半導(dǎo)體技術(shù)
小批量生產(chǎn)
塑料技術(shù)
醫(yī)療技術(shù)
微系統(tǒng)技術(shù)
傳感器
滅菌
紡織技術(shù)

技要參數(shù)：

	Nano系列
控制系統(tǒng)	半自動(dòng)型 PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)
體積	18~36L
真空腔室	圓形不銹鋼件，配有蓋子（大約Φ267 mm, 長(zhǎng) 420 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）或者矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門（約寬 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或者 600 mm）配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 240 mm, 長(zhǎng) 400 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門（大約Φ240 mm, 長(zhǎng) 400 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 240 mm, 長(zhǎng) 400 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）
電極	單層或多層 RIE
樣品支架	（選項(xiàng)：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃
氣源	針型閥質(zhì)量流量控制器 (MFCs)
壓力計(jì)	Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）
計(jì)時(shí)器	數(shù)字型
高頻電流發(fā)生器	40 kHz: 功率 0 - 300 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 600 W 所有發(fā)生器均為 0 - 99% 無級(jí)可調(diào)型
真空泵	規(guī)格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要）
電源	臺(tái)式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位

其他選項(xiàng)

備件套件、壓力計(jì)、腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測(cè)試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z(yǔ)言的文件、現(xiàn)場(chǎng)安裝，包括培訓(xùn)。可應(yīng)要求提供的其他選項(xiàng)。

關(guān)鍵詞：傳感器 PC 控制器真空泵

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