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Diener Special plasma system Tetra 4400-LF-PC

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更新時間：2022-12-09 10:16:55瀏覽次數：94次

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所在地區：上海上海市

聯系人：張經理

產品簡介

Diener Special plasma system Tetra 4400-LF-PC

詳細介紹

                             

The production system Tetra 4400, with its 4400-litrechamber volume and PC control, is used in series production (cleaning, etchingａnd activation).

Special plasma system Tetra 4400-LF-PC

Technical data:

Switch cabinet:
W 1800 mm, H 1000 mm, D 800 mm

Chamber:
L 1350 mm, D 1250 mm, H 2600 mm

Chamber volume:
approx. 4400 litres

Gas supply:
3 gas channels via MFCs

Generator:
4 pieces (each 40 kHz)
(optional: 13.56 MHz or 2.45 GHz)

Control
PC control (Windows) with industrial field bus

Properties:
Oxygen generator
Plasma cleaning source for roots pumps


關鍵詞：PC PCT
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