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光刻機MODEL 800MBA
美國OAI成立至今已有35年歷史,在光源制造和測量方面一直處于領域。
OAI光源以工作穩定,出光效率高,高均勻性和散射角小著稱。且可提供20inch以上的大面積光源。 OAI光功率計在工業上有廣泛應用,包括NIKON,CANON,ASM等光刻機制造商均使用OAI光功率計。
OAI也生產光刻機,尤其是OAI MODEL 800系列雙面曝光機,在世界范圍內有著非常廣泛的應用。
OAI MODEL 800MBA
雙面對準曝光機
曝光模式 接近、軟/硬接觸、真空接觸
掩膜尺寸9"x9"
適合200mm晶圓曝光
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