控制室

W 23.6 in，H 66.9 in，D 31.4 in

Chamber：

W 14.1 in，H 5.9 in，D 10.2 in

房間卷

Approx.30 liters

天然氣

2 Gas channels via MFCS

發生器

清潔劑Tetra-30-LF-PC

技術數據

控制柜：

寬31.5英寸，高23.6英寸，深19.7英寸

腔室：

寬9.4英寸，高5.9英寸，

深9.4英寸

腔室容積：

約30升

供氣：

通過MFC的1個氣體通道

清潔劑Tetra-100-LF-PC

技術數據

控制柜：

寬78.7英寸，高86.6英寸，

深78.7英寸

腔室：

寬27.5英寸，高7.9英寸，

深27.5英寸

腔室容積：

約100升

供氣：

通過MFC的3個氣體通道

清潔劑Tetra-120-LF-PC

技術數據：

控制柜：

寬23.6英寸，高84.6英寸，深39.4英寸

腔室：

寬47.2英寸，高5.9英寸，深66.9英寸

腔室容積：

約120升

供氣：

通過MFC的4個氣體通道

清潔劑Tetra-130-LF-PC

技術數據：控制柜：

寬70.8英寸，高82.7英寸，

深51.2英寸

腔室：寬15.7英寸，

高15.7英寸，深31.9英寸

腔室容積：約130升

供氣：通過MFCs、

單體分散器的3個氣體通道

清潔劑Tetra-140-LF

技術數據：控制柜：

寬23.6英寸，高82.7英寸，

深25.6英寸

腔室：寬47.2英寸，高27.5英寸，

深59英寸

腔室容積：約140升

供氣：通過MFC的3個氣體通道

清潔劑Tetra-140-LF-PC

技術數據：控制柜：

寬39.4英寸，高70.8英寸，

深39.4英寸

腔室：寬39.4英寸，高3.9英寸，

深39.4英寸

腔室容積：約140升

供氣：通過MFCs的2個氣

體通道，用于等離子體聚

合的液體單體分散器

清潔劑Tetra-150-LF-PC

技術數據：控制柜：

寬39.4英寸，高82.7英寸，

深39.4英寸

腔室：

寬15.7英寸，高23.6英寸，

深24.6英寸

腔室容積：約150升

供氣：通過MFC的2個氣體通道

控制室

W 23.6 in，H 66.9 in，D 126 in

Chamber：

W 12 in，H 11.8 in，D 102.4 in

房間卷

Approx.240 liters

天然氣

3 Gas channels via MFCS

技術數據：控制柜：

寬98.4英寸，高86.6英寸，

深39.4英寸、腔室：

寬25.6英寸，高19.7英寸，

深31.5英寸、腔室容積：

約260升、供氣：

通過MFC的2個氣體通道

技術數據：控制柜：

寬23.6英寸，高82.7英寸，

深31.5英寸腔室：寬23.6英寸，

高14.2英寸，深74.8英寸

腔室容積：約375升供氣：

通過MFC的2個氣體通道

清潔劑Tetra-400-LF-PC

技術數據：控制柜：

寬23.6英寸，高82.7英寸，

深25.6英寸腔室：寬29.5英寸，

高31.5英寸，深29.5英寸腔室容積：

約400升供氣：通過MFC的3

個氣體通道

技術數據：控制柜：

寬63英寸，高82.7英寸，

深47.2英寸腔室：寬29.5英寸，

高31.5英寸，深29.5英寸

腔室容積：約420升

供氣：通過MFC的4個氣體通道

清潔劑Tetra-500-LF-PC

技術數據：控制柜：

寬23.6英寸，高82.6英寸，

深31.5英寸

腔室：寬59英寸，高66.9英寸，

深7.9英寸、腔室容積：約500升

供氣：通過MFC的3個氣體通道

清潔劑Tetra-575-LF-PC

技術數據：控制柜：

寬45.3英寸，高74.8英寸，

深63英寸腔室：寬23.6英寸，

高47.2英寸，深31.5英寸、

腔室容積：約575升

供氣：通過MFC的2個氣體通道

清潔劑Tetra-600-LF-PC-D

版本1技術數據：控制柜：W 23.6和

H 86.6和D 31.5以及、腔室：

E 43.3英寸，D 27.6英寸、

腔室容積：約600升、供氣：

通過MFC的2個氣體通道

清潔劑Tetra-600-LF-PC-D

版本2、技術數據：控制柜：

W 39.4和H 86.6和D 70.9以及

腔室：E 39.4英寸，D 29.4英寸

腔室容積：約600升

供氣：通過MFC的2個氣體通道

清潔劑Tetra-2000-RF-PC

技術數據：腔室：

寬39.4英寸，高78.7英寸，深39.4英寸、腔室容積：約2000升

供氣：通過MFC的2個氣體通道

清潔劑Tetra-2800-LF-PC

技術數據：控制柜：

寬23.6英寸，高66.9英寸，深31.5英寸

腔室：

Ø47.2英寸，直徑98.4英寸

腔室容積：約2800升

供氣：通過MFC的3個氣體通道

清潔劑Tetra-4400-LF-PC

技術數據：控制柜：

寬70.8英寸，高39.4英寸，

深31.5英寸、腔室：

寬53.1英寸，高102.4英寸，深49.2英寸、腔室容積：約4400升

供氣：通過MFC的3個氣體通道

帶附加變壓器箱的定制電纜長度

備件組、發電機功率大壓縮空氣過濾器、19“機架安裝式機柜（僅等離子標簽）噴射溫度測量（僅等離子顯微術PC）測試墨水等離子體聚合設備

Zepto等離子體系統

技術數據：控制柜：

寬16.7英寸，高7.3英寸，深17.7英寸

腔室：Ø4.1英寸，L 11.8英寸

腔室容積：約2.6升

供氣：通過針閥的2個氣體通道

Atto等離子體系統

技術數據：控制柜：

寬16.7英寸，高10.8英寸，

深17.7英寸

腔室：Ø8.3英寸，長11.8英寸

腔室容積：約10.5升

供氣：通過針閥的2個氣體通道

基本配置

根據部件/選項的不同，外車身也會有所不同電源：230 V AC/6 A/50-60 Hz