Mapping系列光譜橢偏儀是全自動高精度Mapping繪制化測量光譜橢偏儀，配置全自動Mapping運動機構(gòu)，通過橢偏參數(shù)、透射/反射率等參數(shù)的測量，快速實現(xiàn)薄膜全基片的膜厚及光學(xué)參數(shù)自定義繪制化測量表征。